[发明专利]一种聚晶金刚石复合片表面抛光机

权利要求书

1.一种聚晶金刚石复合片表面抛光机，包括用于对所述复合片进行夹持并使其旋转的夹具部；所述夹具部包括用于夹持复合片的工件夹具，和用于调整抛光压力大小的抛光压力调整机构；所述工件夹具位于所述复合片的上方，所述抛光压力调整机构连接于所述工件夹具，其特征在于，所述夹具部还包括：

夹具旋转驱动机构，耦合于所述工件夹具，用于使所述工件夹具绕自身中心轴转动；

夹具体旋转机构，用于使所述工件夹具的所述中心轴，绕平行于所述中心轴的轴旋转。

2.如权利要求1所述的聚晶金刚石复合片表面抛光机，其特征在于：

所述夹具体旋转机构是双摇杆摆动机构，包括夹具体转轴，从动轴、偏心轴和固定转轴，所述夹具体转轴和所述固定转轴之间的中心距固定，所述中心轴、所述从动轴和所述夹具体转轴位于同一直线上，所述偏心轴和固定转轴之间设置有辅助摇杆，所述偏心轴绕所述从动轴旋转。

3.如权利要求2所述的聚晶金刚石复合片表面抛光机，其特征在于：

所述夹具旋转驱动机构包括主动轴和电机，所述主动轴和所述从动轴均由所述电机驱动旋转。

4.如权利要求3所述的聚晶金刚石复合片表面抛光机，其特征在于：

所述主动轴与所述从动轴通过齿轮啮合或同步齿形带传动来传递动力，所述齿轮啮合或所述同步齿形带传动的传动比在4∶1～5∶1之间。

5.如权利要求3所述的聚晶金刚石复合片表面抛光机，其特征在于：

所述主动轴与所述工件夹具中心轴之间的中心距大于正常齿轮啮合的标准中心距0.5mm，以便有足够空间满足所述工件夹具自适应定位。

6.如权利要求2所述的聚晶金刚石复合片表面抛光机，其特征在于：

所述偏心轴和所述从动轴之间的距离由所述复合片的摆动范围决定；所述偏心轴和所述固定转轴之间的距离由所述复合片的摆动范围的中间位置决定。

7.如权利要求2所述的聚晶金刚石复合片表面抛光机，其特征在于：

所述辅助摇杆的工作长度由所述复合片的摆动范围的中间位置决定。

8.如权利要求2所述的聚晶金刚石复合片表面抛光机，其特征在于：

还包括用于维持所述抛光压力调整机构整体和所述工件夹具稳定旋转的定位机构，所述定位机构与所述抛光压力调整机构可旋转地连接，所述定位机构可绕所述夹具体转轴旋转。

9.如权利要求1-8中任一项所述的聚晶金刚石复合片表面抛光机，其特征在于：

所述工件夹具具有三点夹持工件结构，三个夹持着力点均匀分布在夹持工件外圆上。

10.如权利要求9所述的聚晶金刚石复合片表面抛光机，其特征在于：

所述夹持着力点连线与所述复合片贴合工件夹具的接触面成锐角，形成促使所述复合片向所述工件夹具接触面贴紧的分力。