[发明专利]复合坩埚及其制造方法

权利要求书

1.一种复合坩埚，其特征在于包括：

具有侧壁部及底部的氧化硅玻璃坩埚主体，以及

设置于上述氧化硅玻璃坩埚主体上端部外表面侧的加固层，

其中，上述加固层由以氧化铝和氧化硅为主要成分的莫来石质的材料所构成。

2.如权利要求1所述的复合坩埚，其特征在于：上述加固层的高度为上述侧壁部高度的1/10以上且1/2以下。

3.如权利要求1所述的复合坩埚，其特征在于：

还包括缓冲层，该缓冲层设置于上述加固层和上述氧化硅玻璃坩埚主体之间，并具有从坩埚的上方到下方呈现铝浓度降低的浓度梯度。

4.如从权利要求1至3中任一项所述的复合坩埚，其特征在于：上述氧化硅玻璃坩埚主体具备不透明氧化硅玻璃层和透明氧化硅玻璃层，其中，上述不透明氧化硅玻璃层设置于坩埚外表面侧，且含有大量微小气泡，上述透明氧化硅玻璃层设置于坩埚的内表面侧。

5.如权利要求4所述的复合坩埚，其特征在于：在坩埚壁厚方向上，上述加固层与上述不透明氧化硅玻璃层设置于同一层上。

6.如权利要求4所述的复合坩埚，其特征在于：上述加固层设置在上述不透明氧化硅玻璃层外侧，且接触于上述不透明氧化硅玻璃层的外表面上。

7.一种复合坩埚的制造方法，是制造具有侧壁部及底部，且用于盛装硅熔液的复合坩埚的制造方法，该方法的特征在于包括：

边旋转具备与上述复合坩埚形状匹配的腔体的模具，边向上述模具上部区域供给混合氧化铝粉和氧化硅粉所得的莫来石原料粉，同时向上述上端部的下方区域供给第2氧化硅粉的工序；

向由上述莫来石原料粉及上述第2氧化硅粉所形成的层的内侧供给第3氧化硅粉的工序；

通过加热熔化上述莫来石原料粉、上述第2氧化硅粉以及上述第3氧化硅粉，以形成设置于坩埚外表面侧的不透明氧化硅玻璃层、设置于坩埚内表面侧的透明氧化硅玻璃层以及设置于坩埚上端部的外表面侧的莫来石质的加固层的工序。

8.一种复合坩埚的制造方法，其特征在于包括：

形成具有侧壁部及底部且用于盛装硅熔液的氧化硅坩埚主体的工序；

形成环形加固部件的工序，该加固部件由烧结以氧化铝和氧化硅为主要成分的组成物而得的莫来石质的材料所构成；以及

在上述氧化硅坩埚主体的上端部的外周面接合上述加固部件的工序。