[发明专利]耐蚀性优异的被覆物品的制造方法及被覆物品

权利要求书

1.一种耐蚀性优异的被覆物品的制造方法，其特征在于，其是通过物理蒸镀法在物品的基材表面被覆硬质皮膜的被覆物品的制造方法，所述硬质皮膜包含第1铬系硬质皮膜和紧邻其上的第2铬系硬质皮膜这至少2层以上，

在所述第2铬系硬质皮膜的被覆前，对所述第1铬系硬质皮膜的表面进行研磨，在所述第2铬系硬质皮膜的被覆期间，改变对所述基材施加的负压的偏压。

2.根据权利要求1所述的耐蚀性优异的被覆物品的制造方法，其特征在于，在第2铬系硬质皮膜的被覆期间，使对基材施加的负压的偏压在初期和最后阶段不同。

3.根据权利要求1或2所述的被覆物品的制造方法，其特征在于，在第2铬系硬质皮膜的被覆前，按照算术平均粗糙度Ra达到0.05μm以下、并且最大高度Rz达到1.00μm以下的方式对第1铬系硬质皮膜的表面进行研磨。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的耐蚀性优异的被覆物品的制造方法，其特征在于，在第2铬系硬质皮膜的被覆期间，使对基材施加的负压的偏压变化10V以上。

5.根据权利要求4所述的耐蚀性优异的被覆物品的制造方法，其特征在于，在第2铬系硬质皮膜的被覆期间，使对基材施加的负压的偏压在初期和最后阶段相差10V以上。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的耐蚀性优异的被覆物品的制造方法，其特征在于，在第2铬系硬质皮膜的被覆期间，使对基材施加的负压的偏压大于20V。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的耐蚀性优异的被覆物品的制造方法，其特征在于，第1铬系硬质皮膜和/或第2铬系硬质皮膜包含选自Mo、Nb、W、Si、B中的1种或2种以上元素。

8.根据权利要求7所述的耐蚀性优异的被覆物品的制造方法，其特征在于，第1铬系硬质皮膜和/或第2铬系硬质皮膜以仅金属成分(包括半金属)的原子％计包含1～20％的选自Mo、Nb、W、Si、B中的1种或2种以上元素。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的耐蚀性优异的被覆物品的制造方法，其特征在于，按照算术平均粗糙度Ra达到0.05μm以下、并且最大高度Rz达到1.00μm以下的方式对第2铬系硬质皮膜的表面进行研磨。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的耐蚀性优异的被覆物品的制造方法，其特征在于，物理蒸镀法为电弧离子镀法。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的耐蚀性优异的被覆物品的制造方法，其特征在于，被覆物品为注射成形用部件和/或模具。

12.根据权利要求11所述的耐蚀性优异的被覆物品的制造方法，其特征在于，注射成型用部件为螺杆和/或螺杆的前端部件。

13.一种耐蚀性优异的被覆物品，其特征在于，其是通过权利要求1～12中任一项所述的制造方法而形成的被覆物品，硬质皮膜包含第1铬系硬质皮膜和紧邻其上被覆的第2铬系硬质皮膜这至少2层以上，第1铬系硬质皮膜的表面经研磨，进而，第2铬系硬质皮膜在其基材侧和表面侧由粒度不同的颗粒层构成。

14.根据权利要求13所述的耐蚀性优异的被覆物品，其特征在于，基于纳米压痕法的第2铬系硬质皮膜的硬度为30GPa以上。

15.根据权利要求13或14所述的耐蚀性优异的被覆物品，其特征在于，第1铬系硬质皮膜的膜厚为1.0～10.0μm，第2铬系硬质皮膜的膜厚为1.0～10.0μm。