[发明专利]一种用于静电吸盘的射频滤波器

权利要求书

1.一种用于静电吸盘的射频滤波器，所述静电吸盘安装在一个等离子处理装置中用于固定待处理基片，所述等离子处理装置包括具有多个射频频率的射频电源连接到等离子发生装置，

所述静电夹盘包括一个加热电极，一个射频滤波器连接在所述静电夹盘加热电极和一个加热电源之间，

其特征在于，所述射频滤波器包含一个铁芯电感和一个空气电感以及一个滤波电容。

2.如权利要求1所述用于静电吸盘的射频滤波器，其特征在于，所述静电吸盘中设置有若干加热元件对应不同的区域，所述若干个加热原件通过多个滤波器电连接到加热电源。

3.如权利要求1所述用于静电吸盘的射频滤波器，其特征在于，所述滤波器包括相互串联的一个空气电感和一个铁芯电感电连接到所述加热电源的功率输入端，一个滤波电容连接在所述功率输入端和接地点之间。

4.如权利要求1所述用于静电吸盘的射频滤波器，其特征在于，所述加热电源输入端输入工频或直流的加热电压。

5.如权利要求1所述用于静电吸盘的射频滤波器，其特征在于，所述具有多个射频频率的射频电源输出一个高频射频频率的电压和一个低频射频频率的电压，

所述滤波器中空气电感与滤波电容形成的谐振电路，具有第一谐振频率大于所述高频射频频率；

所述滤波器中铁芯电感与滤波电容形成的谐振电路，具有第二谐振频率大于所述低频射频的频率且小于所述高频射频频率。

6.如权利要求5所述用于静电吸盘的射频滤波器，其特征在于，所述第一谐振频率大于所述高频射频频率15％。

7.如权利要求5所述用于静电吸盘的射频滤波器，其特征在于，所述第二谐振频率大于所述低频射频频率50％。

8.如权利要求5所述用于静电吸盘的射频滤波器，其特征在于，所述高频射频频率大于40Mhz，低频射频频率低于20Mhz。

9.如权利要求5所述用于静电吸盘的射频滤波器，其特征在于所述铁芯电感在输入低频射频频率时具有大于1千欧姆的阻抗。

10.一种用于等离子处理装置的射频滤波器，所述等离子处理装置包括一个反应腔，一个具有多个射频频率的射频电源连接到等离子发生装置，所述具有多个射频频率的射频电源输出一个高频射频频率的电压和一个低频射频频率的电压，其中高频射频频率大于40Mhz，低频射频频率小于20Mhz；

一个电极位于反应腔内与所述多个射频频率耦合，并且所述电极有外部驱动电路联通；

一个滤波器连接在所述电极和驱动电路之间；

其特征在于，所述射频滤波器包含一个铁芯电感和一个空气电感以及一个滤波电容。

11.根据权利要求1所述用于等离子处理装置的射频滤波器，所述滤波器包括两个串联的铁芯电感和一个空气电感。