[发明专利]微机电感测元件及微机电感测元件的制作方法

权利要求书

1.一种微机电感测元件，其特征在于，包括：

一基板；

一半导体层，配置于该基板上；

一支撑柱，配置于该半导体层上；

一第一悬浮臂，配置于该支撑柱上，且该支撑柱连接该第一悬浮臂的一部分；

一第一连接部，直接或间接地连接该第一悬浮臂的另一部分；

一第二悬浮臂，具有一第一表面与一相对该第一表面的一第二表面，且该第一连接部连接该第一表面的一部分；以及

一主质量块，连接该第二悬浮臂，且该第二悬浮臂的一部分构成该主质量块的一部分。

2.如权利要求1所述的微机电感测元件，其中，该第一悬浮臂具有一第三表面与一相对于该第三表面的第四表面，且该支撑柱连接该第三表面的一部分。

3.如权利要求2所述的微机电感测元件，其中，该第一连接部直接地连接该第四表面的一部分或该第三表面的另一部分。

4.如权利要求3所述的微机电感测元件，其中，该第一连接部直接地连接该第三表面的另一部分时，该第一连接部的膜层至少与该支撑柱的部分膜层属于同一位阶的膜层。

5.如权利要求3所述的微机电感测元件，其中，该第一连接部直接地连接该第四表面的一部分时，该主质量块的部分膜层可与该第一连接部的部分膜层属于相同位阶的膜层。

6.如权利要求2所述的微机电感测元件，其中，还包括：

一第二连接部，直接地连接该第一悬浮臂的该第三表面的另一部分；以及

一第三悬浮臂，具有一第五表面与一相对该第五表面的一第六表面，且该第二连接部连接于该第五表面的一部分，其中该第一连接部连接于该第五表面的另一部分，以使该第一连接部间接地连接该第一悬浮臂的另一部分。

7.如权利要求6所述的微机电感测元件，其中，该第一连接部的膜层与该第二连接部的膜层至少与该支撑柱的部分膜层属于同一位阶的膜层。

8.如权利要求6所述的微机电感测元件，其中，该主质量块的部分膜层可与该第一连接部的部分膜层、该第二连接部的部分膜层或该支撑柱的部分膜层属于相同位阶的膜层。

9.如权利要求1所述的微机电感测元件，其中，该支撑柱、该第一连接部以及该主质量块由至少二导电层堆叠而成。

10.如权利要求9所述的微机电感测元件，其中，该主质量块的该些导电层间可选择性地夹设有一介电层或是保持有一空隙。

11.如权利要求1所述的微机电感测元件，其中，还包括：

一蚀刻阻挡结构，配置于该基板上并位于该支撑柱、该第一悬浮臂、该第一连接部、该第二悬浮臂以及该主质量块的周边。

12.如权利要求11所述的微机电感测元件，其中，该蚀刻阻挡结构由至少二导电层堆叠而成。

13.如权利要求12所述的微机电感测元件，其中，该蚀刻阻挡结构的膜层包含了该半导体层、该支撑柱、该第一悬浮臂、该第一连接部、该第二悬浮臂以及该主质量块的膜层位阶。

14.如权利要求1所述的微机电感测元件，其中，还包括：

一上电极，设置于该主质量块的上方。

15.如权利要求1所述的微机电感测元件，其中，还包括：

一下电极，设置于该主质量块的下方。

16.如权利要求1所述的微机电感测元件，其中，还包括：

一压电材料层，配置于该第二悬浮臂。

17.如权利要求1所述的微机电感测元件，其中，该第二悬浮臂的材质包括一压电材料。