[发明专利]衬底处理系统

权利要求书

1.一种衬底处理系统，包括：

多个加工设备，每个加工设备分别包括传送模块和处理模块，所述传送模块中设置有搬送机器人，所述处理模块连接到所述传送模块；

缓冲台，其位于相邻的所述传送模块之间，并且用于在所述传送模块之间传送衬底，

其中，所述多个加工设备包括：

至少一个第一设备，在该第一设备中处理模块位于沿着所述传送模块和所述缓冲台排列的方向所提供的连接线的第一侧；以及

至少一个第二设备，在该第二设备中处理模块位于所述连接线的第二侧，

其中，与提供给所述第二设备的传送模块相比较，提供给所述第一设备的传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。

2.如权利要求1所述的衬底处理系统，其中，与所述缓冲台相比较，提供给所述第一设备的传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。

3.如权利要求2所述的衬底处理系统，其中，与所述缓冲台和提供给所述第一设备的传送模块相比较，提供给所述第二设备的传送模块朝向所述连接线的所述第二侧更突出。

4.如权利要求1所述的衬底处理系统，其中，一个所述第二设备位于相邻的所述第一设备之间。

5.如权利要求4所述的衬底处理系统，其中，所述第二设备的处理模块的平行于所述连接线的最大宽度大于所述第二设备的传送模块的平行于所述连接线的最大宽度。

6.如权利要求4所述的衬底处理系统，其中，所述第二设备的处理模块的平行于所述连接线的最大宽度大于所述第二设备的传送模块的平行于所述连接线的宽度与位于该传送模块的两侧的缓冲台的平行于所述连接线的宽度之和。

7.如权利要求5所述的衬底处理系统，其中，所述多个加工设备具有相同的尺寸和相同的形状。

8.如权利要求1所述的衬底处理系统，其中，每个所述加工设备还包括与所述传送模块结合的一个或多个装载端口，所述处理模块与所述传送模块结合的一侧和所述装载端口与所述传送模块结合的一侧关于所述连接线彼此面对。

9.如权利要求8所述的衬底处理系统，其中，还包括第一引导轨道，其向上和向下面对所述第一设备的所述装载端口，并且引导将包含多个衬底的容器搬送到所述第一设备的所述装载端口的搬送装置的移动。

10.如权利要求9所述的衬底处理系统，其中，还包括第二引导轨道，其向上和向下面对所述第二设备的所述装载端口，并且引导将包含多个衬底的容器搬送到所述第二设备的所述装载端口的搬送装置的移动。

11.一种衬底处理系统，包括：

第一传送模块，其中设置有搬送机器人；

第二传送模块，其中设置有搬送机器人；

第一缓冲台，其布置在所述第一传送模块与所述第二传送模块之间，并且用于在所述第一传送模块和所述第二传送模块之间传送衬底；

第一处理模块，其与所述第一传送模块结合并且布置在连接线的第一侧，其中，所述连接线的方向是沿所述第一传送模块、所述第一缓冲台和所述第二传送模块排列的方向；以及

第二处理模块，其与所述第二传送模块结合并且布置在所述连接线的第二侧，

其中，关于所述连接线，与所述第二传送模块相比较，所述第一传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。

12.如权利要求11所述的衬底处理系统，还包括：

第三传送模块，其中设置有搬送机器人，并且其布置为关于所述第二传送模块与所述第一传送模块相对；

第二缓冲台，其布置在所述第二传送模块与所述第三传送模块之间，并且用于在所述第二传送模块和所述第三传送模块之间传送衬底；以及

第三处理模块，其布置在所述连接线的所述第一侧并且与所述第三传送模块结合，

其中，关于所述连接线，与所述第二传送模块相比较，所述第三传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。

13.如权利要求12所述的衬底处理系统，其中，关于所述连接线，与所述第一传送模块和所述第三传送模块相比较，所述第二传送模块朝向所述连接线的所述第二侧更突出。