[发明专利]一种制备负载型缓蚀剂的方法无效
| 申请号： | 201110451973.3 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102553501A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李娜;沈大娲;张治国;田兴玲;马清林 | 申请（专利权）人： | 中国文化遗产研究院 |
| 主分类号： | B01J13/14 | 分类号： | B01J13/14;C23F11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 100029 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 负载 型缓蚀剂 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备负载型缓蚀剂的方法，其步骤为：
1)将乳化剂溶于分散介质中；
2)将氨水及水溶性缓蚀剂溶于水中，并滴加到油包水乳液体系中，形成油包水乳液体系；
3)将正硅酸乙酯滴加到步骤2的油包水乳液体系中，恒温反应一段时间出料。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，乳化剂为Span系列和OP系列中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，分散介质为环己烷、己烷或正庚烷。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，步骤1的油包水乳液体系加温后进行步骤2的操作。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，油包水乳液体系加温至35-40℃。
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