[发明专利]一种多磁极束流聚焦调节装置无效

专利信息
申请号: 201110452397.4 申请日: 2011-12-30
公开(公告)号: CN103187233A 公开(公告)日: 2013-07-03
发明(设计)人: 张继恒 申请(专利权)人: 北京中科信电子装备有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;H01J37/21
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 101111 北京市中关村科*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 磁极 聚焦 调节 装置
【权利要求书】:

1.本发明提供一种多磁极束流聚焦调节装置,其特征在于包括:腔体(1)、上磁极组(2)、下磁极组(3)和程控数字电流源(4)。

2.权利要求1中所述的上磁极组(2)和下磁极组(3),其特征在于两排磁极一一相对,均匀排列安装在腔体(1)上。

3.权利要求1中所述的上磁极组(2)、下磁极组(3),其特征在于每个磁极都是电磁螺线管,电磁极的线包分别和程控数字电流源(4)的各个电流输出端子相连接。

4.权利要求1中所述的上磁极组(2)、下磁极组(3),其特征在于每个电磁极线包中的电流大小和方向可调。

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