[发明专利]一种多磁极束流聚焦调节装置无效
申请号: | 201110452397.4 | 申请日: | 2011-12-30 |
公开(公告)号: | CN103187233A | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 张继恒 | 申请(专利权)人: | 北京中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01J37/21 |
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地址: | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 磁极 聚焦 调节 装置 | ||
1.本发明提供一种多磁极束流聚焦调节装置,其特征在于包括:腔体(1)、上磁极组(2)、下磁极组(3)和程控数字电流源(4)。
2.权利要求1中所述的上磁极组(2)和下磁极组(3),其特征在于两排磁极一一相对,均匀排列安装在腔体(1)上。
3.权利要求1中所述的上磁极组(2)、下磁极组(3),其特征在于每个磁极都是电磁螺线管,电磁极的线包分别和程控数字电流源(4)的各个电流输出端子相连接。
4.权利要求1中所述的上磁极组(2)、下磁极组(3),其特征在于每个电磁极线包中的电流大小和方向可调。
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