[发明专利]具热膨胀间隙监测功能的加热装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种加热装置，特别是涉及一种具热膨胀间隙监测功能的加热装置。

背景技术

半导体镀膜中，在化学气相沉积法中常加热晶圆，对树脂模进行加热硬化或绝缘模的加热焙烧，参阅图1，为中国台湾公告号第I248135号「半导体制造用加热装置」发明专利案，该案揭示的加热装置包含一陶瓷保持器11、一支撑该陶瓷保持器11的支持构件12，及一设于该陶瓷保持器11内的电阻发热器13，如此将一晶圆14放置在该陶瓷保持器11，利用电阻发热器13通电后会发热的特性，热能会经由该陶瓷保持器11再传递至该晶圆14上，达到对晶圆14加热的目的。

由于该陶瓷保持器11与该电阻发热器13的膨胀系数不同，在长时间受热的使用环境下该陶瓷保持器11与该电阻发热器13间会逐渐产生间隙，而导致热传导的效率变差，目前一般均是利用一热电偶15或一温度传感器(图未示)设置于该陶瓷保持器11或电阻发热器13上，获得该加热装置的温度，并对该电阻发热器13的功率进行微调，补偿因该陶瓷保持器11与电阻发热器13间有间隙而使加热温度不足的问题。

但上述方式是被动的检测手段，需依赖有经验的人员费时微调参数，同时，无法掌握该电阻发热器13与该陶瓷保持器11间的间隙变化，连带影响镀膜环境时常变动而造成大量废片，或需停机维修，使产品的质、量都受到影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够量测间隙变化的具热膨胀间隙监测功能的加热装置。

本发明具热膨胀间隙监测功能的加热装置，包含一个加热器，及一个设于该加热器内的检测单元。

该加热器包括一个本体，及一个设于该本体内的加热件。该检测单元包括一个能发出光线的光发射件，及一个感知光线的光接收件，该光发射件与光接收件均设于该加热器的本体内，并分别位于该加热件的相对两侧。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

较佳地，前述的具热膨胀间隙监测功能的加热装置，其中该加热器的本体具有一个底盖，及一个盖设该底盖的顶盖，该底盖具有一个容置该加热件的容置槽，及两个分别位于该容置槽两侧并与该容置槽相通的孔穴，而该检测单元的光发射件、光接收件是分别设于所述孔穴内。

较佳地，前述的具热膨胀间隙监测功能的加热装置，其中该检测单元的光发射件、光接收件是分别能够脱离地设置于所述孔穴内。

较佳地，前述的具热膨胀间隙监测功能的加热装置，其中该检测单元的光发射件、光接收件是分别固设于所述孔穴内。

较佳地，前述的具热膨胀间隙监测功能的加热装置，其中该加热件具有一条加热线，该检测单元的光发射件、光接收件是设于该加热线径向的两侧。

较佳地，前述的具热膨胀间隙监测功能的加热装置，该加热件具有一条加热线，及一条与该加热线间隔的测试线，该检测单元的光发射件、光接收件是分别设于该测试线径向的两侧。

较佳地，前述的具热膨胀间隙监测功能的加热装置，该加热件具有一条加热线，及一条与该加热线间隔的测试线，该检测单元的光发射件、光接收件是分别设于该测试线轴向的两端。

本发明的有益效果在于：当该加热器的加热件与本体间产生间隙时，该光接收件会接收到光发射件发出的光，根据光信号的强度差异能够得知间隙的大小、多寡，预先判断该加热器的使用寿命，提早做应变措施。

附图说明

图1是一剖视图，说明中国台湾专利公告号第I248135号「半导体制造用加热装置」发明专利案；

图2是一立体分解图，说明本发明具热膨胀间隙监测功能的加热装置的一第一较佳实施例；

图3是一剖视图，说明该第一较佳实施例的一检测单元的光发射件和光接收件分别设于一加热线径向的两侧；

图4是一剖视图，说明该第一较佳实施例的该检测单元检测到间隙的态样；

图5是一立体分解图，说明本发明具热膨胀间隙监测功能的加热装置的一第二较佳实施例；

图6是一剖视图，说明该第二较佳实施例的检测单元的光发射件和光接收件分别设于该测试线轴向的两端。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。

在本发明被详细描述前，要注意的是，在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。

参阅图2与图3，为本发明具热膨胀间隙监测功能的加热装置的第一较佳实施例，包含一加热器3，及一设于该加热器3内的检测单元4。