[发明专利]具有多个可选择粒子发射器的带电粒子源

权利要求书

1.一种带电粒子系统，包括：

镜筒，用于将带电粒子束聚焦到目标的表面上；

带电粒子源，包括多个带电粒子发射器，每个被配置为发射与镜筒的轴大体平行的带电粒子；

多个电连接，被配置为一个连接面向所述多个带电粒子发射器中的每个发射器或一组小于所有发射器；以及

发射器控制电路，用于控制所述多个带电粒子发射器。

2.根据权利要求1所述的带电粒子系统，其中所述发射器控制电路能够使小于所有发射器同时发射。

3.根据上述权利要求中任一项所述的带电粒子系统，其中所述发射器控制电路能够使多个发射器同时发射，所述多个发射器产生由所述镜筒聚焦的带电粒子。

4.根据上述权利要求中任一项所述的带电粒子系统，其中所述多个带电粒子发射器形成单个带电粒子束。

5.根据上述权利要求中任一项所述的带电粒子系统，其中所述发射器控制电路能够使所述带电粒子系统操作于其中单个发射器发射带电粒子的模式或者其中多个发射器同时发射带电粒子的模式。

6.根据上述权利要求中任一项所述的带电粒子系统，其中发射器中的至少两个能够被独立寻址以发射带电粒子或不发射带电粒子，从而允许发射器同时或顺序地发射。

7.根据上述权利要求中任一项所述的带电粒子系统，其中所述带电粒子是电子或离子。

8.根据上述权利要求中任一项所述的带电粒子系统，其中发射器是冷场电子发射器、气态场离子化离子发射器或液态金属离子发射器。

9.根据上述权利要求中任一项所述的带电粒子系统，其中带电粒子镜筒包括：对准偏转器，将所述多个带电粒子发射器与所述镜筒的光轴对准。

10.根据上述权利要求中任一项所述的带电粒子系统，其中所述多个带电粒子发射器内的每个发射器包括发射器尖端和提取电极。

11.根据权利要求10所述的带电粒子系统，其中所述发射器控制电路被配置为对每个发射器尖端施加分离电压，或者所述发射器控制电路被配置为对每个提取电极施加分离电压。

12.一种操作带电粒子束系统的方法，包括：

提供多个带电粒子发射器；

提供具有光轴的聚焦镜筒，所述聚焦镜筒能够将来自多个发射器的带电粒子聚焦到样本表面上；以及

使带电粒子顺序地从所述多个带电粒子发射器发射并由所述聚焦镜筒聚焦。

13.根据权利要求12所述的方法，还包括：通过使用对准偏转器，将所述多个带电粒子发射器与所述聚焦镜筒的光轴对准。

14.一种操作带电粒子束系统的方法，包括：

提供多个带电粒子发射器；

提供具有光轴的聚焦镜筒，所述聚焦镜筒能够将来自多个发射器的带电粒子聚焦到样本表面上；以及

使带电粒子同时从所述多个带电粒子发射器发射并由所述聚焦镜筒聚焦，来自多个发射器的所述带电粒子被组合以形成单个带电粒子束。