[发明专利]包含多酰胺组分的光刻胶

权利要求书

1.一种光刻胶组合物，所述组合物包括：

(a)一种或多种树脂；

(b)一种或多种光致酸产生剂化合物；和

(c)一种或多种多酰胺化合物。

2.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其中所述一种或多种多酰胺化合物是非聚合的。

3.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其中所述一种或多种多酰胺化合物是聚合的。

4.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其中所述一种或多种多酰胺化合物的分子量都小于2000。

5.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其中所述一种或多种多酰胺化合物包含一种或多种下述部分：羟基、羧基、羧基(C₁-C₃₀)烷基、(C₁-C₃₀)烷氧基、磺酰基、磺酸、磺酸酯、氰基、卤素和酮。

6.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其中所述一种或多种多酰胺化合物包含2到6个酰胺基。

7.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其中所述一种或多种多酰胺化合物中的至少一个具有分子式：

其中R¹、R²和R³独立地选自H、(C₁-C₃₀)烷基和酰胺基取代的(C₁-C₃₀)烷基；R¹和R²，或R¹和R³可与它们相连的原子一起形成5-到12-元杂环；和其中R¹、R²和R³中至少之一是酰胺基取代的(C₁-C₃₀)烷基。

8.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其中所述一种或多种多酰胺化合物选自：顺-N，N’-(环己烷-1，2-二基)二乙酰胺；反-N，N’-(环己烷-1，2-二基)二乙酰胺；顺-N，N’-(环己烷-1，3-二基)二乙酰胺；反-N，N’-(环己烷-1，3-二基)二乙酰胺；顺-N，N’-(环己烷-1，4-二基)二乙酰胺；反-N，N’-(环己烷-1，4-二基)二乙酰胺；顺-N，N’-(环己烷-1，2-二基)双(N-甲基乙酰胺)；反-N，N’-(环己烷-1，2-二基)双(N-甲基乙酰胺)；N，N’-二乙酰基亚乙基二酰胺；N，N，N’，N’-四甲基酒石酸二酰胺；哌嗪-1，4-二甲醛；N，N，N’，N’-四甲基丙二酰胺；N，N，N’，N’-四丁基丙二酰胺；N，N，N’，N’-四(2-羟乙基)己二酰胺；和(己二酰双(氮烷三基))四(乙烷-2，1-二基)四叔丁基四碳酸酯。

9.一种形成光刻胶浮雕图像的方法，所述方法包括：

(a)将权利要求1的光刻胶组合物的涂层施加到基底上；

(b)将待图案化的光刻胶涂层在活化辐射下曝光，且将曝光的光刻胶层显影以提供浮雕图像。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述光刻胶涂层是浸没曝光的。