[发明专利]直拉式单晶炉的下炉体

说明书

技术领域

本发明涉及一种直拉式单晶炉的下炉体，属于单晶硅的生产制造设备领域。

背景技术

单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、上炉体、下炉体、炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。

以往的直拉式单晶炉的下炉体只有单层炉壁，而单晶炉工作过程中炉体部分长时间处于高温状态，所以炉壁很容易损坏，从而影响了下炉体的使用寿命。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种热量能被有效吸收，炉壁不易损坏，使用寿命较长的单晶炉下炉体。

本发明的目的是这样实现的：

本发明直拉式单晶炉的下炉体，包括下炉体本体，所述下炉体本体包括内壁和外壁，所述内壁和外壁之间设有水夹层，所述水夹层内从上到下交错布置有若干栅板，相邻的两块栅板中，一块栅板的一端固定在内壁上，另一端与外壁之间留有间隙，而另一块栅板一端固定在外壁上，另一端与内壁之间留有间隙，所述外壁上开设有与水夹层相连通的进水口和出水口，所述内壁和外壁的上下两端分别连有上法兰和下法兰，所述外壁上开设有镁棒接口，所述镁棒接口与水夹层相连通。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

这种直拉式单晶炉的下炉体在水夹层内设有交错布置的栅板，可以增加水的停留时间，并且增加了水与内壁和外壁的接触面，提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，使炉壁不易损坏，并且外壁上开设了镁棒接口，镁棒接口与内壁与外壁之间的水夹层相连通，镁棒接口中插入镁棒后，将代替内壁和外壁上的铁与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀。

附图说明

图1为本发明直拉式单晶炉的下炉体的结构示意图。

其中：下炉体本体1、内壁2、外壁3、水夹层4、栅板5、进水口6、出水口7、上法兰8、下法兰9、镁棒接口10。

具体实施方式

参见图1，本发明涉及的直拉式单晶炉的下炉体，它包括下炉体本体1，所述下炉体本体1包括内壁2和外壁3，所述内壁2和外壁3之间设有水夹层4，所述水夹层4中通入自来水用于对下炉体降温，所述水夹层4内从上到下交错布置有若干栅板5，相邻的两块栅板5中，一块栅板5的一端固定在内壁2上，另一端与外壁3之间留有间隙，而另一块栅板5一端固定在外壁3上，另一端与内壁2之间留有间隙，所述外壁3上开设有与水夹层4相连通的进水口6和出水口7，所述内壁2和外壁3的上下两端分别连有上法兰8和下法兰9，所述外壁3上开设有镁棒接口10，所述镁棒接口10与水夹层4相连通，镁棒接口10中插入镁棒后，将代替内壁2和外壁3上的铁与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀。

由于水夹层4内设有交错布置的栅板5，可以增加水的停留时间，并且增加了水与内壁2和外壁3的接触面，提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，使炉壁不易损坏。