[发明专利]高性能PZT基压电陶瓷放电等离子体低温烧结及制备方法有效
申请号: | 201110455732.6 | 申请日: | 2012-01-31 |
公开(公告)号: | CN102515756A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 雷燕;陈东初;郑文毅;阮学锋;张雅芝;王量仙 | 申请(专利权)人: | 佛山市亿强电子有限公司;武汉大学;佛山科学技术学院 |
主分类号: | C04B35/49 | 分类号: | C04B35/49;C04B35/64 |
代理公司: | 佛山东平知识产权事务所(普通合伙) 44307 | 代理人: | 詹仲国 |
地址: | 528100 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 性能 pzt 压电 陶瓷 放电 等离子体 低温 烧结 制备 方法 | ||
1.一种高性能PZT基压电陶瓷放电等离子体低温烧结及制备方法,其特征在于,它包括如下步骤:
a、采用高能球磨法制备超细粉:
(a1)称取原料粉PbO、ZrO2、TiO2 、BaCO3 、Nb2O5、 La2O3;
(a2)原料粉与球按质量比1:7~10置于球磨灌内,并添加无水乙醇,高出粉料表面10~30mm;球磨转速为350~500rpm,球磨时间为24~48h;
(a3)取粉,用红外烘干燥箱烘干,设定温度不超过100℃;
b、烧结放电等离子体:
(b1)烘箱中取出的粉末放入#20mm的钢制模具中压制,压制压力为250~400MPa;
(b2)在直径接近20mm的石墨模具内表面涂覆一层刚玉粉涂料,待干燥后,里面装入(a1)中得到的压制体,置于放电等离子体设备中烧结;
(b3)放电等离子烧结过程中,先抽真空,真空度达到1~10Pa后,以升温速率20℃~100℃/min进行加热,烧结压力0~10MPa,烧结最高温度700~900℃,在最高温度保温5min~20min,随后冷却到500℃以下后,取出模具继续冷却到室温取样;
(b4)试样外表面稍做打磨,即得到本发明所要求的样品。
2.根据权利要求1所述的一种高性能PZT基压电陶瓷放电等离子体低温烧结及制备方法,其特征在于,步骤a(a2)中,球料比应介于7~10之间,且大球和小球要同时配合使用。
3.根据权利要求1所述的一种高性能PZT基压电陶瓷放电等离子体低温烧结及制备方法,其特征在于,在步骤a(a2)中,优选无水乙醇高出粉料表面10~20mm。
4.根据权利要求1所述的一种高性能PZT基压电陶瓷放电等离子体低温烧结及制备方法,其特征在于,在所述工艺步骤a和b过程中,原料粉配比(质量比)为PbO65%、ZrO220%、TiO210%、BaCO31% 、Nb2O51% 和La2O30.5% ,球料质量比取7:1 ;将称好的原料粉与球装入球磨罐,再倒入无水乙醇,且无水乙醇的加入量需高出粉料表面15mm,球磨24h后干燥,再放入钢制模具中压制成形,压强为350MPa,压制好的素坯装入腔体尺寸相同的石墨模具内,在放电等离子烧结系统中进行烧结,烧结前先抽真空,真空度达到5Pa时,以加热速率为50℃/min进行加热,当温度升高到800℃时,保温15min,随后冷却到500℃以下取出模具,继续冷却到室温取样。
5.根据权利要求1所述的一种高性能PZT基压电陶瓷放电等离子体低温烧结及制备方法,其特征在于,在所述工艺步骤a和b过程中,原料粉配比(质量比)为PbO65%、ZrO220%、TiO210%、BaCO31% 、Nb2O51% 和La2O30.5% ,球料质量比取10:1 ;称好的原料粉与球装入球磨罐,再倒入无水乙醇,且无水乙醇的加入量需高出粉料表面25mm;球磨48h后干燥,再放入钢制模具中压制成形,压强为350MPa;压制好的素坯装入腔体尺寸相同的石墨模具内,在放电等离子烧结系统中进行烧结;烧结前先抽真空,真空度达到5Pa时,以加热速率为20℃/min进行加热,当温度升高到700℃时,加热速率为60℃/min,继续加热到900℃时,保温15min,随后冷却到500℃以下取出模具,继续冷却到室温取样。
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