[发明专利]喷淋清洗槽有效
申请号: | 201110457737.2 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN102513302A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 王振荣;刘红兵;黄利松 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;H01L21/67 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷淋 清洗 | ||
1.喷淋清洗槽,包括槽体,所述槽体设置有容腔;其特征在于,还包括:
第一支架,所述第一支架可移动地设置于容腔内;
夹具,所述夹具用于夹持待洗工件,夹具可转动地设置于第一支架上;
喷液管,所述喷液管设置有朝向夹具的喷液口。
2.根据权利要求1所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述喷淋管与夹具可相对移动地设置于容腔内。
3.根据权利要求2所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述第一支架可上下往复移动地设置。
4.根据权利要求3所述的喷淋清洗槽,其特征在于,还包括第一驱动装置;第一驱动装置通过第一传动装置与第一支架传动连接;所述第一驱动装置通过第一传动装置驱动第一支架上下往复运动。
5.根据权利要求4所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述第一传动装置包括齿条及齿轮;齿条端部与第一支架连接;齿轮安装于第一驱动装置的输出轴上并受第一驱动装置驱动旋转;齿条与齿轮啮合。
6.根据权利要求5所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述第一传动装置为丝杠螺母,丝杠螺母的丝杆与第一支架连接;第一驱动装置与丝杠螺母的螺母传传动连接,第一驱动装置驱动丝杠螺母的螺母旋转。
7.根据权利要求1或2所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述的喷淋管可上下往复移动地设置于容腔内。
8.根据权利要求7所述的喷淋清洗槽,其特征在于,喷淋管安装于第二支架上;还包括第二驱动装置,所述第二驱动装置与第二支架传动连接;所述第二驱动装置驱动第二支架上下往复运动。
9.根据权利要求8所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述第二驱动装置为第二减速电机;第二减速电机通过第二传动装置与第二支架传动连接。
10.根据权利要求9所述的喷淋清洗槽,其特征在于,减速电机具有输出轴,所述输出轴水平设置;减速电机输出轴上安装有转盘,所述转盘与第二支架通过连杆连接;所述连杆连接在转盘的非圆心位置;连杆与第二支架连接点位于连杆与转盘的连接点的上方。
11.根据权利要求8所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述容腔内设置有在第二支架上下运动过程中导向的导向装置。
12.根据权利要求11所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述导向装置为相互配合的滑块与导轨;所述滑块与第二支架连接,所述导轨安装于容腔内。
13.根据权利要求1或2所述的喷淋清洗槽,其特征在于,还包括第三驱动装置,所述第三驱动装置驱动夹具转动。
14.根据权利要求13所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述第三驱动装置与夹具通过第三传动装置传动连接。
15.根据权利要求14所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述第三传动装置包括同步带、传动链和齿轮中的一种或几种。
16.根据权利要求13所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述夹具安装于转轴上,转轴可转动地安装于第一支架上。
17.根据权利要求16所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述转轴两端分别安装有一个夹具;所述喷淋管数目为两个。
18.根据权利要求16所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述第三驱动装置通过同步带驱动转轴转动。
19.根据权利要求18所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述第三驱动装置通过同步带和齿轮驱动转轴转动;第一同步带轮安装于第三驱动装置的输出轴上;第二同步带轮与第一齿轮同轴安装;同步带套装在第一同步带轮和第二同步带轮上;转轴上安装有第二齿轮;第一齿轮与第二齿轮啮合、或者第一齿轮及第二齿轮同时与第三齿轮啮合。
20.根据权利要求1或2所述的喷淋清洗槽,其特征在于,所述夹具包括基板、定位柱、定位块及弹性复位装置;所述定位柱设置于基板表面并突出于基板表面;所述定位块设置在基板边缘,且定位块设置有自基板边缘向基板中心延伸的挡片,所述定位块可远离基板边缘运动并可回复至扣合在基板边缘地设置;所述弹性复位装置在定位块远离基板边缘运动时产生弹性变形力,该弹性变形力具有使定位块回复至扣合在基板边缘的位置的趋势。
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