[发明专利]光敏苯并环丁烯树脂组合物及制备方法以及其图案化方法

权利要求书

1.一种光敏苯并环丁烯树脂组合物，其特征在于，包括如下组分：苯并环丁烯树脂，光敏剂，以及有机溶剂。

2.如权利要求1所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物，其特征在于，所述苯并环丁烯树脂与光敏剂的摩尔比为1∶0.1～1∶1；所述苯并环丁烯树脂与光敏剂的总重量为有机溶剂重量的5％～40％。

3.如权利要求1或2所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物，其特征在于，所述苯并环丁烯树脂的结构式如下：

其中，R为连接两个芳香族二元酸酐分子的官能团。

4.如权利要求3所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物，其特征在于，所述R为O、CO、C(CH₃)₂、C(CF₃)₂、S、SO₂中的任一种。

5.如权利要求1或2所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物，其特征在于，所述光敏剂为叠氮化合物。

6.如权利要求5所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物，其特征在于，所述光敏剂的结构式为如下结构式中的任一种：

7.如权利要求1或2所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物，其特征在于，所述有机溶剂为丙酮、乙酸乙酯、二氯甲烷、三氯甲烷、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、或二甲基亚砜中的任一种。

8.一种如权利要求1至7任一项所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将所述苯并环丁烯树脂加入至所述有机溶剂中，搅拌至完全溶解；

在所述完全溶解后的苯并环丁烯树脂与有机溶剂的混合溶液中加入所述光敏剂，并在紫外屏蔽条件下搅拌第一时间，得到负性光敏苯并环丁烯树脂组合物组。

9.如权利要求8所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的制备方法，其特征在于，所述第一时间的范围为0.5～12小时。

10.一种如权利要求1至7任一项所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供一涂膜基材；

将所述光敏苯并环丁烯树脂组合物旋转涂敷于所述涂膜基材上；

对涂覆于所述涂膜基材上的光敏苯并环丁烯树脂组合物进行前烘；

对前烘后的光敏苯并环丁烯树脂组合物进行曝光；

对曝光后的光敏苯并环丁烯树脂组合物进行显影；以及

对显影后的光敏苯并环丁烯树脂组合物进行固化。

11.如权利要求10所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，所述涂膜基材为陶瓷、硅片、玻璃、聚合物或金属层中的任一种。

12.如权利要求10所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，所述旋转涂覆的转速为0-5000转/分。

13.如权利要求12所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，所述旋转涂覆的旋涂时间为10-100秒。

14.如权利要求10所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，所述前烘的温度为20～100℃。

15.如权利要求14所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，所述前烘的时间为5-300分钟。

16.如权利要求10所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，所述曝光的光线为i线曝光。

17.如权利要求16所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，所述曝光的曝光剂量为200～1500mJ/cm²。

18.如权利要求10所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，所述显影采用的显影液为负胶显影液。

19.如权利要求18所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，所述显影的时间为5～60秒。

20.如权利要求10所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，所述固化在惰性气体或空气或真空条件下进行。

21.如权利要求20所述的光敏苯并环丁烯树脂组合物的图案化方法，其特征在于，所述固化的温度为180～300℃。