[发明专利]载冷剂回收循环装置及其使用方法

说明书

技术领域

本发明涉及温控设备，特别涉及一种载冷剂回收循环装置及其使用方法。

背景技术

在半导体工艺过程中，保证刻蚀腔体满足工艺温度，是提高半导体芯片良率的关键因素。为了保证刻蚀腔体满足工艺温度，需要利用冷却机(chiller)输送载冷剂来控制温度，载冷剂是制冷技术中，采用间接冷却方法进行制冷作用的低温中间介质，被冷却物体的热量传给载冷剂，再通过蒸发器的热交换由制冷剂所吸收。

冷却机中的储液箱是冷却机的重要机械部件，储液箱内部安装有加热器以及蒸发器，用来实现加热、制冷以及匀温等功能。与一般的温控设备不同的是冷却机的载冷剂价格昂贵，当冷却机停止使用或更换时，需要将循环管路内的载冷剂回收到储液箱内，以备后续使用。

按照现在通常使用的储液箱结构会存在如下问题：回收的载冷剂进入储液箱，要求储液箱体积增大，工作时，又需要将载冷剂输出，液位变化大，对储液箱内的液压泵、传感器等安装设计带来麻烦，进而增加了储液箱结构的复杂性。因此，常用的储液箱结构不适用于回收的载冷剂。

目前有一种储液箱包括内层储液箱和外层储液箱，内层储液箱与循环管路相通形成循环回路，回收的载冷剂流入外层储液箱。储液箱内部有两个液压泵，其中，一个给循环管路输送载冷剂，另外一个将外层储液箱的载冷剂送到内层储液箱。该储液箱结构中的内层储液箱为工作储液箱，用来实现控温功能。该储液箱通过控制内层储液箱的水位，减小对内层储液箱内的液压泵以及传感器等的不利影响。然而需要额外增加一个液压泵来将外层储液箱的载冷剂送到内层储液箱，不但增加了经济成本而且需要花费人力定期检查液压泵，同时还造成了整个储液箱的结构复杂化。

发明内容

本发明的目的在于提供一种载冷剂回收循环装置及其使用方法，以解决现有技术中需要额外增加一个液压泵而造成经济成本增高的问题。

本发明提供一种载冷剂回收循环装置，包括内层储液箱和外层储液箱，所述内层储液箱与外层储液箱连通，所述载冷剂回收循环装置还包括阀门、循环管路以及设置在所述内层储液箱内的液压泵，所述阀门分别连接所述内层储液箱、外层储液箱以及液压泵，所述循环管路的一端与液压泵连接，所述循环管路的另一端伸入至内层储液箱。

优选地，在所述载冷剂回收循环装置中，所述载冷剂回收循环装置还包括压力传感器和流量传感器，所述压力传感器和流量传感器分别设置在所述循环管路上。

优选地，在所述载冷剂回收循环装置中，所述载冷剂回收循环装置还包括单向阀，所述单向阀设置在循环管路的一端并与所述液压泵的出口连接。

优选地，在所述载冷剂回收循环装置中，所述阀门为三通电磁阀。

优选地，在所述载冷剂回收循环装置中，所述载冷剂回收循环装置还包括蒸发器、加热器、温度传感器以及液位开关，所述蒸发器、加热器、温度传感器以及液位开关位于内层储液箱内。

优选地，在所述载冷剂回收循环装置中，所述循环管路内设置有气源接口，所述气源接口处设置有一控制阀。

本发明还提供了一种载冷剂回收循环装置的使用方法，该方法包括：向循环管路输入气体，利用气体将所述循环管路内的载冷剂压回内层储液箱；当所述内层储液箱充满后，载冷剂将溢流到外层储液箱，直到所述循环管路内的所有载冷剂全部回收完毕；启动阀门，使液压泵与外层储液箱连通，与所述内层储液箱通路截止，所述液压泵将外层储液箱的载冷剂输送入所述循环管路；外层储液箱内的载冷剂全部输入循环管路后，关闭液压泵；关闭阀门，使液压泵与内层储液箱连通；若所述载冷剂未充满所述循环管路，启动液压泵，将内层储液箱内的载冷剂送入所述循环管路，完成补液。

优选地，在所述载冷剂回收循环装置的使用方法中，向循环管路输入气体的压强值在1个大气压至5个大气压之间。

优选地，在所述载冷剂回收循环装置的使用方法中，所述载冷剂回收循环装置还包括设置在所述循环管路内的流量传感器，当所述流量传感器的读数为零，则外层储液箱内的载冷剂全部输入循环管路，需要将内层储液箱内的载冷剂送入所述循环管路。

优选地，在所述载冷剂回收循环装置的使用方法中，所述液压泵将外层储液箱的载冷剂输送入所述循环管路，延时1-2分钟，并且流量传感器的读数不为零，则完成补液。

由于采用了以上技术方案，与现有技术相比，本发明具有以下优点：