[发明专利]用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统

权利要求书

1.用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其包括主机架，所述主机架安装于PECVD设备的进料端侧，其特征在于：其包括控制系统、待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转运机构以及硅片的横向搬运机构，所述待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构沿纵向平行布置于所述主机架的横向两侧，所述硅片转运机构沿纵向布置、并安装于所述待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构之间，所述硅片的横向搬运机构安装于所述主机架上、并横跨于所述待处理硅片送料机构、硅片转运机构、已处理硅片出料机构的上方，所述待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转动机构、硅片的横向搬运机构与所述控制系统之间均电控连接。

2.根据权利要求1所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述待处理硅片送料机构包括硅片盒运输线一、进料升降台、排片输送机、出片机构，所述硅片盒运输线一和所述排片输送机分别沿纵向同轴安装于进料机架、所述主机架，所述进料升降台固定于所述进料机架、位于所述硅片盒运输线一出料端与所述排片输送机进料端之间；所述出片机构沿纵向安装于所述排片输送机的下方；所述排片输送机的进料端安装有硅片定位装置，所述硅片定位装置固定于所述主机架；所述硅片定位装置包括纵向定位装置和横向定位装置。

3.根据权利要求2所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述已处理硅片出料机构包括硅片盒运输线二、出料升降台、出片搬运架、出片输送机，所述硅片盒运输线二与所述出片输送机沿纵向同轴布置，所述硅片盒运输线二、出片输送机分别沿纵向安装于出料机架和所述主机架，所述出料升降台固定于所述出料机架、并位于所述出片输送机的出料端与所述硅片盒运输线二的进料端之间；所述出片搬运架沿纵向固定于所述主机架、所述出料升降台的侧面；所述出片输送机的出料末端安装有所述横向定位装置。

4.根据权利要求3所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述硅片转运机构包括碳板输送装卸台、碳板升降台和底部机内输送线，所述碳板升降台设置有两组，其中一组安装于所述主机架的外侧且位于所述进料机架与所述出料机架的横向中间、另一组安装于PECVD设备出料端侧，所述碳板输送装卸台固定于所述主机架、其横向位置正对PECVD设备的进料口，所述底部机内输送线沿纵向布置于所述两组碳板升降台之间，其包括主机架段输送线与PECVD段输送线，所述主机架段输送线安装于所述主机架内、并位于所述碳板输送装卸台的下方，所述PECVD段输送线安装于所述PECVD的底部。

5.根据权利要求4所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述硅片的横向搬运机构固定于所述主机架、并横跨于所述排片输送机、碳板输送装卸台、出片输送机上方。

6.根据权利要求5所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述硅片盒运输线一和硅片盒运输线二均包括进盒线与出盒线，所述进盒线与出盒线均设置有输送电机，所述输送电机输出端通过联轴器连接转动轴，所述转动轴两端固定有同步带轮，所述同步带轮通过同步带连接输送同步带轮；所述进盒线的输送电机与出盒线的输送电机旋转方向相反；所述进盒线与出盒线层叠安装；所述硅片盒运输线一的进盒线一与出盒线一沿纵向层叠安装于所述进料机架上、且所述出盒线一位于所述进盒线一的上方；所述硅片盒运输线二的进盒线二与出盒线二沿纵向层叠安装于所述出料机架，所述进盒线二位于所述出盒线二的上方。