[发明专利]掺铕碘化锶闪烁晶体的防潮保护膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201110459244.2 | 申请日： | 2011-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102534804A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 秦来顺;张烨;史宏声;舒康颖 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;C23C14/06;C30B29/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碘化 闪烁 晶体 防潮 保护膜 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种掺铕碘化锶闪烁晶体的防潮保护膜，其特征在于：在掺铕碘化锶闪烁晶体表面上沉积氟化锶薄膜，氟化锶薄膜为晶态立方晶系，厚度为100nm-10μm。
2.根据权利要求1所述的掺铕碘化锶闪烁晶体的防潮保护膜的制备方法，其特征在于所述氟化锶膜采用电子束蒸发技术沉积，氟化锶作为蒸发材料，钼材料蒸发舟，蒸发系统真空度为1×10-3-9×10-4Pa，基片温度为50-400℃。
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