[发明专利]多晶碱法制绒方法

权利要求书

1.一种多晶碱法制绒方法，其特征在于，它包括如下步骤：

(a)对多晶硅片进行预清洗并烘干；

(b)将预清洗烘干的多晶硅片放入注入有铸膜液的铸膜槽中进行涂覆；

(c)将涂覆有铸膜液的多晶硅片放入通风箱中风干，使多晶硅片的表面形成一层多孔固膜；

(d)将表面具有多孔固膜的多晶硅片放入注入有制绒液的制绒槽中进行制绒，当多孔固膜完全剥离多晶硅片表面时取出既得较好的微孔多晶绒面。

2.如权利要求1所述的多晶碱法制绒方法，其特征在于，所述铸膜液为乙基纤维素膜铸膜液，它包括如下重量百分比的组分：乙基纤维素10-30％，乙醇45-85％和二氧化硅5-25％。

3.如权利要求2所述的多晶碱法制绒方法，其特征在于，所述乙基纤维素膜铸膜液的制备方法为：称取乙基纤维素溶于乙醇溶液中，搅拌5-15分钟，再加入二氧化硅，在50℃下搅拌10-20分钟。

4.如权利要求1所述的多晶碱法制绒方法，其特征在于，所述多孔固膜为乙基纤维素膜或者醋酸纤维素膜。

5.如权利要求1所述的多晶碱法制绒方法，其特征在于，所述通风箱温度为10-70℃，风干时间为10-40分钟，铸膜液涂覆到多晶硅片表面后必须处于半干状态，及时放入制绒液中制绒。

6.如权利要求1所述的多晶碱法制绒方法，其特征在于，所述制绒液包括如下重量百分比的组分：氢氧化钠1-8％，异丙醇0.5-1.5％，其余为去离子水。

7.如权利要求1所述的多晶碱法制绒方法，其特征在于，所述制绒时间为5-10分钟，温度为50-80℃，待多晶硅片表面的多孔固膜脱落，取出多晶硅片。