[发明专利]压电元件的制造方法、压电元件、压电致动器和头悬架

权利要求书

1.一种压电元件的制造方法，所述压电元件根据施加的电压产生变形，所述方法包括以下步骤：

从基体压电材料板切割压电元件，由此形成外围端面来定义所述压电元件的外围形状；和

通过气相沉积聚合分别在所述压电元件的外围端面的至少目标区域上形成聚合物涂层。

2.如权利要求1所述的方法，其中，在所述压电元件保持极性的温度下执行涂层形成步骤。

3.如权利要求1所述的方法，其中，在1/2至1/3的居里点的范围的温度下执行涂层形成步骤。

4.如权利要求1所述的方法，其中，所述聚合物涂层由聚脲或聚对二甲苯制成。

5.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：

分别在所述压电元件的相对的面上形成电极，每个电极连接到其他部件由此将电压施加到所述压电元件；和

利用掩膜覆盖每个电极与所述其他部件的连接区域，由此使所述连接区域避免气相沉积聚合。

6.如权利要求5所述的方法，其中，

切割步骤切割所述基体压电材料板，以便多个压电元件至少沿着压电元件的变形方向成行地排列，从而形成成行元件组；并且

覆盖步骤将掩膜放置在所述成行元件组上，由此掩膜沿着所述变形方向在所述成行元件组的压电元件的上方延伸。

7.如权利要求6所述的方法，其中，

并排地设置多个所述成行元件组；

在相邻的成行元件组之间定义缝隙；并且

通过所述缝隙执行气相沉积聚合。

8.如权利要求7所述的方法，其中，

在掩膜体上并排设置多个掩膜，所述多个掩膜分别对应于多个成行元件组；并且

在相邻的掩膜之间定义间隔，当执行所述覆盖步骤时，所述间隔连通对应的缝隙。

9.如权利要求8所述的方法，其中，当执行所述覆盖步骤时，所述间隔与对应的缝隙一起形成封闭部分。

10.如权利要求5所述的方法，其中，

电极形成步骤在所述基体压电材料板的相对的面上形成导电金属层，在切割步骤中所述导电金属层作为电极与所述压电元件一起被切割；

切割步骤将保持薄板连接到所述基体压电材料板的相对的面中的一个面上，来覆盖对应的一个导电金属层并在所述保持薄板上切割所述基体压电材料板；并且

覆盖步骤将所述掩膜连接至所述压电元件的电极，所述压电元件是从其他导电金属层切割下来的。

11.如权利要求1所述的方法，其中，气相沉积聚合通过加热气化单体并将气化的单体在所述压电元件的外围端面的目标区域上聚合。

12.如权利要求1所述的方法，其中，所述气相沉积聚合通过加热分解气态材料来形成气化的单体，并将所述气化的单体送到与所述压电元件的外围端面的目标区域相接触，由此所述气化的单体对目标区域散失热量并在所述目标区域上聚合。

13.通过如权利要求1所述的方法制造出来的压电元件，包括：

元件体，根据施加的电压产生变形；

外围端面，定义所述元件体的外围形状；和

聚合物涂层，通过气化沉积聚合至少形成在沿着所述元件体的变形方向的正交方向的外围端面上。

14.一种压电致动器，包括如权利要求13所述的压电元件，并根据所述压电元件的变形相对于基体移位驱动部，所述压电致动器包括：

致动器基体，设置在基体和驱动部之间；

形成在所述致动器基体上的开口，用来容纳所述压电元件；和

胶粘剂，将沿着所述压电元件的变形方向的正交方向的每个外围端面粘着到朝向所述外围端面的开口的内表面。

15.一种头悬架，包括如权利要求14所述的压电致动器，所述头悬架包括：

基板和由所述基板支撑的载荷横梁；

读/写头，由所述载荷横梁支撑；并且

所述基板用作基体，而所述载荷横梁用作驱动部。