[发明专利]连续生产单晶的设备有效
申请号: | 201110460655.3 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN102443845A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 付一凡 | 申请(专利权)人: | 北京中晶华业科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜;王莹 |
地址: | 101300 北京市顺*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连续生产 设备 | ||
1.一种连续生产单晶的设备,包括底座、主炉室、立柱、炉盖组件和顶部固定连接有提拉头装置的副室,所述副室与炉盖组件的顶部相连,其特征在于,所述副室设置为至少两个,每个副室分别通过可升降和旋转的连接机构与所述立柱连接,所述至少两个副室交替进行拉晶;所述主炉室的外侧设有加料装置,所述加料装置通过波纹管组件与所述炉盖组件相连。
2.如权利要求1所述的连续生产单晶的设备,其特征在于,所述副室设置为两个,所述两个副室分别位于立柱的两侧,分别为第一副室和第二副室,所述第一副室和第二副室分别通过可升降和旋转的第一连接机构和第二连接机构与所述立柱相连。
3.如权利要求2所述的连续生产单晶的设备,其特征在于,所述第一连接机构包括第一支臂、第一支撑、第一顶升轴、第一凸台和第一顶升机构;所述第一顶升轴通过第一支撑固定在所述立柱的一侧,所述第一副室通过第一支臂与第一顶升轴连接,第一凸台设置在所述第一顶升轴上位于第一支臂的下方,所述第一顶升机构驱动第一顶升轴向上运动使得第一凸台抵住所述第一支臂从而带动第一副室做提升运动,所述第一副室可绕第一顶升轴转动。
4.如权利要求2所述的连续生产单晶的设备,其特征在于,所述第二连接机构包括第二支臂、第二支撑、第二顶升轴、第二凸台和第二顶升机构;所述第二顶升轴通过第二支撑固定在所述立柱的另一侧,所述第二副室通过第二支臂与第二顶升轴连接,第二凸台设置在所述第二顶升轴上位于第二支臂的下方,所述第二顶升机构驱动第二顶升轴向上运动使得第二凸台抵住所述第二支臂从而带动第二副室做提升运动,所述第二副室可绕第二顶升轴转动。
5.如权利要求4所述的连续生产单晶的设备,其特征在于,所述炉盖通过第三支臂连接到第二顶升轴上,所述第三支臂位于第二顶升机构的上方;所述第二顶升轴上位于第三支臂的下方设有第三凸台,所述第三凸台距第三支臂的距离大于第二凸台距第二支臂的距离;炉盖组件可绕第二顶升轴转动。
6.如权利要求1所述的连续生产单晶的设备,其特征在于,所述至少两个副室和炉盖组件可通过人工推动进行转动或与通过机动连接进行自动转动。
7.如权利要求1所述的连续生产单晶的设备,其特征在于,所述炉盖组件与所述波纹管组件的连接处设有插板阀。
8.如权利要求1所述的连续生产单晶的设备,其特征在于,所述加料装置设有移动车。
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