[发明专利]真空系统用的真空插板阀

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃真空镀膜技术领域，特别涉及一种真空系统用的真空插板阀。

背景技术

用于玻璃镀膜工艺的真空设备中，真空插板阀是任意两个相邻真空室之间必不可少的组成部件，其作用是：当需要对单个真空室进行维护或者在单个真空室内更换材料时，将相邻两个真空室隔绝，使真空室内的真空气氛不被破坏。目前常用的真空插板阀为翻板式结构，即在真空室内的工件通孔处设置真空插板阀，该真空插板阀主要为一个挡板，挡板顶部与真空室内的顶面铰接，当真空插板阀关闭时，挡板下翻，其侧面挡住工件通孔而实现密封，当真空插板阀打开时，挡板贴紧于真空室内的顶面。然而，该结构的真空插板阀由于挡板采用翻转式，所占的空间较大，真空插板阀关闭时由于挡板靠自重挡住工件通孔，挡板底部没有相应的固定机构，其密封效果不好；另外，该结构的真空插板阀必须设于真空室内部，其加工难度大，挡板易变形，日常的维护也相当困难。

为此，申请号为200610169213.2的发明申请公开了一种摆阀和滑门真空阀，该结构的真空阀克服了传统真空插板阀气密性差的缺陷，但其结构复杂，各组成部件之间精度要求较高，因此其成本也较高。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，针对工件通孔口径较小的真空室，提供一种密封性好、所占空间小、加工和日常维护都较方便的真空系统用的真空插板阀。

本发明的技术方案为：一种真空系统用的真空插板阀，包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板，阀体为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯设于阀体内部，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接，下清洁盖板设于阀体底部。

所述驱动元件与阀体顶部相接处设有密封件，可有效提高驱动元件运行的可靠性和阀体内部的密封性。

根据实际需要，阀芯及阀体中部空间的结构形式主要有2种：

(1)所述阀芯为四棱柱结构，阀芯的径向截面为第一梯形，阀芯位于第一梯形长底边的侧面为第一侧面，阀芯位于第一梯形短底边的侧面为第二侧面，阀芯位于第一梯形两侧腰上的两侧面分别为第三侧面和第四侧面，第一侧面向上并与驱动元件末端固定连接，第二侧面向下，第三侧面和第四侧面分别位于左右两侧；

阀体中部空间的径向截面为长方形和第二梯形组成的六边形，长方形位于上部，第二梯形位于下部，第二梯形各边尺寸与第一梯形各边尺寸相同；

阀芯下落至底部时，阀芯的第三侧面和第四侧面分别贴紧于阀体的内侧面；

阀体的底部开有阀底通孔，阀底通孔的宽度与第一梯形短底边的长度相等；

下清洁盖板设于阀底通孔下方。

所述阀芯的第三侧面和第四侧面上还分别开有设置密封圈用的密封槽，在阀芯和阀体之间增设密封圈，可更好地提高其密封效果。

(2)所述阀芯为三棱柱结构，三棱柱的径向截面为倒三角形，阀芯顶面与驱动元件末端固定连接；

阀芯下落至底部时，阀芯的两侧面分别贴紧于阀体的内侧面；

阀体的底部开有阀底通孔，下清洁盖板设于阀底通孔下方。

所述阀芯的两侧面上还分别开有设置密封圈用的密封槽，在阀芯和阀体之间增设密封圈，可更好地提高其密封效果。

所述驱动元件为驱动元件、电机或液压传动件。

本真空系统用的真空插板阀使用时，其原理是：当需要关闭真空插板阀时，驱动元件运行，其末端带动阀芯在阀体中部空间内向下运动，阀芯下落至底部时，阀芯的左右两侧面贴紧于阀体的内侧面，此时将阀体左右两侧壁上的阀体通孔隔开，从而挡住阀体左右两侧真空室上的工件通孔，达到密封的目的；当需要打开真空阀插板时，驱动元件运行，其末端带动阀芯在阀体中部空间内向上运动，阀芯上升到其末端高于阀体通孔所处的位置即可。

本发明相对于现有技术，具有以下有益效果：

本真空系统用的真空插板阀采用驱动元件带动阀芯上下运动实现其启闭，可有效克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷。同时，本真空插板阀关闭后，由于阀芯下部为锥形或接近锥形的结构，所以阀芯下落后可贴紧于阀体的内侧壁，其密封效果好，阀芯结构也较为稳固，不易变形。

本真空系统用的真空插板阀设于相邻两个真空室之间，即设于真空室外部，其加工及日常维护都较为方便。

另外，本真空系统用的真空插板阀还具有以下优点：结构简单、加工制造容易，可靠性比翻板阀大为提高；同时，密封效果更好，也更加耐用，维护间隔时间长。

附图说明

图1为本真空插板阀的结构示意图。