[发明专利]基板检测装置无效

专利信息
申请号: 201110461572.6 申请日: 2011-12-29
公开(公告)号: CN103105401A 公开(公告)日: 2013-05-15
发明(设计)人: 李淳钟;禹奉周;朴炳澯 申请(专利权)人: 塞米西斯科株式会社
主分类号: G01N21/89 分类号: G01N21/89;G02F1/13
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 韩明星
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种基板检测装置,其特征在于,该基板检测装置包括:拍摄部件、照明部以及控制单元,用以通过图像信息分析来检测投入的基板的表面和/或边缘部分是否存在破裂或破损,其中,

所述照明部布置在所述基板的上侧或下侧,

所述拍摄部件包括具有互不相同布置角度的第一照相机、第二照相机,用以从互不相同的聚焦方向根据从所述照明部提供的光源分别拍摄基板的表面和/或缘边部分。

2.如权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于,所述第一照相机相对于所述基板垂直布置,

所述第二照相机布置在相对所述第一照相机的垂直布置线朝两侧倾斜45°的布置角度范围内。

3.如权利要求2所述的基板检测装置,其特征在于,一个以上的相对于所述基板垂直布置的所述第一照相机间隔一定距离而并排排列,

所述第二照相机以与所述第一照相机对应的数量并排排列而构成。

4.如权利要求3所述的基板检测装置,其特征在于,所述第一照相机、所述第二照相机由行扫描照相机或区域照相机构成。

5.如权利要求3所述的基板检测装置,其特征在于,所述控制单元组合由所述第一照相机拍摄的图像信息和由所述第二照相机拍摄的图像信息,根据组合的图像信息,分别比较与所述第一照相机位于相同的垂直线上的存在于基板上的破裂或破损部分的亮度值及其周围的亮度值,当比较的亮度值出现差异时,判断为在所述基板上存在破裂或破损。

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