[发明专利]ICP光谱分析系统及方法

说明书

技术领域

本发明涉及位移的测量，特别涉及ICP光谱分析系统及传感方法。

背景技术

在ICP光谱分析系统使用的时候，为了使分析系统能达到正常工作的要求，需要打开吹扫气(一般为氩气)对光室和气路进行吹扫，从而置换光室内的原有气体，吹扫时间短则数十分钟，长则几个小时。由于每次开机都要进行吹扫，所以对气体的消耗量特别大，这对用户来说是一笔不小的开销。

现有的解决方法是让用户自己手动操作来控制吹扫时间，以用户自己的经验来判断吹扫时间是否达到系统正常工作要求，达到要求后关闭吹扫。另一种方法是进行不间断吹扫，吹扫气体消耗量更大。这些方法要么操作繁琐，要么非常浪费氩气，无法帮助用户对吹扫进行精确控制。

发明内容

为了解决上述现有技术方案中的不足，本发明提供了一种智能化、运行成本低的ICP光谱分析系统以及方法。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

ICP光谱分析系统，所述分析系统包括炬管、光室，所述炬管设置在炬室内；所述分析系统进一步包括：

压力或时间测量单元，输出端连接判断人员设备，所述压力测量单元设置在所述光室内；

进气阀门，所述进气阀门设置在光室的进气口上，输入端连接控制人员设备；气源通过所述进气阀门与所述光室连通；

排气阀门，所述排气阀门设置在所述光室的排气口，输入端连接控制人员设备；

判断人员设备，所述判断人员设备用于根据压力或时间测量单元传送来的信号而判断所述光室内的吹扫气体是否满足测量的要求，判断结果传送来控制人员设备；

控制人员设备，所述控制人员设备用于根据接收到的所述判断结果而控制所述进气阀门、排气阀门的开启、关闭。

根据上述的分析系统，可选地，所述分析系统进一步包括：

排气管，所述排气管的一端连接所述炬室，另一端连接所述排气口。

本发明的目的还通过以下技术方案得以实现：

ICP光谱分析方法，所述分析方法包括以下步骤：

(A1)激发等离子体光源，该光源发出的测量光进入光室内，穿过光室内的吹扫气体后，被探测器接收、转换为电信号，并传送到判断人员设备；

所述光室与外界保持密封；

(A2)判断人员设备根据接收到的所述电信号而获知光室内气体对所述测量光的衰减程度，从而判断所述光室内的吹扫气体是否满足测量的要求：

若判断结果为是，进入下一步骤；

若判断结果为否，则向所述光室内充入吹扫气体，直到满足测量的要求，进入下一步骤；

(A3)待测物被所述光源激发而成为等离子体，发出的光进入光室，被所述探测器接收后转换为电信号，分析单元利用光谱技术处理该电信号，从而获知待测物中含量信息。

根据上述的分析方法，可选地，所述分析方法进一步包括以下步骤：

(B1)测得光室内的压力或上次待测物测量结束到目前的时间，并传送到判断人员设备；

(B2)判断人员设备根据接收到的压力或时间而判断光室内残留的吹扫气体是否满足测量要求：

若判断结果为是，则进入步骤(A1)；

若判断结果为否，则向所述光室内充入吹扫气体，直到满足测量的要求，进入步骤(A1)。

根据上述的分析方法，可选地，所述分析方法进一步包括以下步骤：

(C1)测得光室内的压力，并传送到判断人员设备；

(C2)判断人员设备根据接收到的压力而判断光室内残留的吹扫气体是否满足测量要求：

若判断结果为是，继续进行分析；

若判断结果为否，则向所述光室内充入吹扫气体，直到满足测量的要求。

根据上述的分析方法，优选地，在所述步骤(A2)中，判断的方法为：

判断人员设备根据接收到的电信号而获得对应于光室内气体含量的谱线强度，根据所述谱线强度而判断光室内气体是否满足测量的要求，所述光室内气体包括吹扫气体。

根据上述的分析方法，可选地，所述光室内气体还包括进入所述光室的外界气体。

根据上述的分析方法，可选地，在向所述光室内充入吹扫气体时，在所述光室排出的气体进入炬室，用于吹扫等离子体尾焰或为炬管供气。

与现有技术相比，本发明具有的有益效果为：

1、实现ICP光谱仪的自动化实时智能吹扫，大大方便了用户；

2、大幅减少了ICP光谱仪在工作过程中的吹扫气消耗量，为用户节省大量费用。

附图说明