[发明专利]压电泵的传感器

权利要求书

1.一种压电泵，其特征在于结构包括泵体(1)、进水口(2)、进口阀片(3)、出水口(4)、出口阀片(5)、传感器(6)、电极(8)、压电晶片(9)、金属板体(10)：泵体(1)上安装有进水和出水的单向阀，进水阀由进水口(2)和进口阀片(3)组成，出水阀由出水口(4)和出口阀片(5)组成，出口阀片(5)外侧有传感器(6)；泵体(1)一侧或两侧为晶片型压电振子，晶片型压电振子由压电晶片(9)和金属板体(10)组成，金属板体(10)靠近泵体(1)，压电晶片(9)外侧为电极(8)。

2.权利要求1所述的压电泵，其特征在于所述压电晶片(9)部分为传感单元，部分为驱动单元。

3.权利要求2所述的压电泵，其特征在于所述传感单元和驱动单元为粘接于金属板体(10)一侧或两侧的整体压电晶片。

4.权利要求1所述的压电泵，所述传感器(6)为出口阀片(5)的一部分。

5.权利要求1所述的压电泵，所述进口阀片(3)外侧也装配有传感器(6)。

6.权利要求5所述的压电泵，所述传感器(6)为进口阀片(3)的一部分。