[发明专利]使用多层能移动梳状物的MEMS传感器

权利要求书

1.一种微机电系统(MEMS)传感器(100)，包括：

基板；

至少一个检验质量块(102)，所述检验质量块具有第一多个梳状物(104)，其中所述检验质量块经由一个或多个悬挂梁耦合到所述基板，使得所述检验质量块和所述第一多个梳状物是能移动的；

至少一个锚(106)，所述锚具有第二多个梳状物(108)，其中所述锚耦合到所述基板，使得所述锚和所述第二多个梳状物相对于基板被固定在适当位置；

其中所述第一多个梳状物与第二多个梳状物交错；

其中所述第一多个梳状物和第二多个梳状物中的每一个梳状物包括彼此之间通过一个或多个非导电层(316)来电隔离的多个导电层(314)；

其中每一个导电层单独耦合到各自的电势，以便掩蔽弥散电场以减小由于所述弥散电场所产生的所述第一多个梳状物沿感测轴的运动。

2.权利要求1所述的MEMS传感器，其中所述第一和第二多个梳状物中的每一个梳状物包括第一外部导电层(314-1)、第二外部导电层(314-3)、和内部导电层(314-2)；

其中所述第一和第二多个梳状物中的每一个梳状物的所述第一和第二外部导电层被耦合到地；

其中所述第一多个梳状物中的每一个梳状物的所述内部层被耦合到地且所述第二多个梳状物中的每一个梳状物的所述内部层被耦合到随时间变化的电压。

3.权利要求1所述的MEMS传感器，其中所述第一和第二多个梳状物中的梳状物由硅构成，该多个导电层包括重掺杂硅的区域，并且该一个或多个非导电层包括非掺杂硅的区域。