[发明专利]增强的传感器管芯粘接

权利要求书

1.一种压力传感器组件(10)，包括：

压力传感器管芯(18)，包括：

前侧；

背侧；

压力感测隔膜(26)；以及

形成在所述压力传感器管芯(18)的背侧中的一个或多个粘接特征(42)，其中，所述一个或多个粘接特征(42)增加了所述背侧的表面面积；

具有顶侧和底侧的衬底(12)，所述衬底(12)限定压力开口(24)，其中，所述压力传感器管芯(18)安装在所述压力开口(24)上方，使得所述压力感测隔膜(26)与所述压力开口(24)流体连通；以及

粘接剂(32)，用于将所述压力传感器管芯(18)的背侧安装到所述衬底(12)的顶侧，其中，所述粘接剂(32)至少部分地填充形成在所述压力传感器管芯(18)的背侧中的所述一个或多个粘接特征(42)。

2.根据权利要求1所述的压力传感器组件(10)，其中，所述压力传感器管芯(18)包括耦合到所述压力感测隔膜(26)的一个或多个压敏电阻器，用于感测所述压力感测隔膜(26)中的由压力产生的应力。

3.根据权利要求1所述的压力传感器组件(10)，其中，所述一个或多个粘接特征(42)包括形成在所述压力传感器管芯(18)的背侧中的一个或多个凹陷。

4.根据权利要求3所述的压力传感器组件(10)，其中，所述一个或多个凹陷沿着所述压力传感器管芯(18)的背侧的外围形成。

5.根据权利要求4所述的压力传感器组件(10)，其中，沿着所述压力传感器管芯(18)的背侧的外围形成的所述一个或多个凹陷构造成延伸通过所述压力传感器管芯(18)的侧表面。

6.根据权利要求5所述的压力传感器组件(10)，其中，所述粘接剂(32)定位为覆盖延伸通过所述压力传感器管芯(18)的侧表面的所述一个或多个凹陷。

7.根据权利要求3所述的压力传感器组件(10)，其中，所述一个或多个凹陷为大体V形凹陷。

8.根据权利要求3所述的压力传感器组件(10)，其中，所述一个或多个凹陷为大体矩形凹陷。

9.根据权利要求1所述的压力传感器组件(10)，其中，所述一个或多个粘接特征(42)构造成限定所述压力传感器管芯(18)和所述粘接剂(32)之间的非平面界面。

10.根据权利要求1所述的压力传感器组件(10)，其中，所述背侧的一个或多个角部(47)没有所述一个或多个粘接特征(42)。