[发明专利]显微镜系统和操作带电粒子显微镜的方法

权利要求书

1.一种操作带电粒子显微镜(2)的方法，该方法包括：

使用该带电粒子显微镜(2)以第一设置记录物体(10)的第一区域(311)的第一图像；

使用该带电粒子显微镜(2)以第二设置记录该物体(10)的第二区域(313)的第二图像，其中该第二设置与该第一设置在该带电粒子显微镜用于成像的一次带电粒子的动能、用于成像的探测器设置、用于成像的该一次带电粒子的束电流以及该带电粒子显微镜(2)的测量室(21)内的压强中的至少一个上不同；

读取该物体(10)的第三区域(312)的第三图像(212)，其中该第一区域和该第二区域(311，313)至少部分地包含在该第三区域(312)中；

显示该第三图像(212)的至少一部分；

在所显示的第三图像(212)中至少部分地显示该第一图像(211)的图示，其中该第一图像(211)的图示包括指示该第一设置的第一指示体；

在所显示的第三图像(212)中至少部分地显示该第二图像(213)的图示，其中该第二图像(213)的图示包括指示该第二设置的第二指示体，并且其中所显示的第二指示体与所显示的第一指示体不同。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：

通过选择该第一图像(211)的图示和该第二图像(213)的图示中的一个来选择该第一图像和该第二图像中的一个；以及

显示所选择的图像。

3.根据权利要求1或2所述的方法，进一步包括：

使用光显微镜(3)或该带电粒子显微镜(2)记录该第三图像。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中该第一图像(211)的图示包括表示该第一区域(311)的横向范围的图框。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，进一步包括：

从该带电粒子显微镜(2)的带电粒子束和该物体(10)的反应区域获得光谱和/或衍射图；以及

在该第三图像(212)中至少部分地显示该光谱(218)和/或该衍射图的图示；其中该光谱和/或该衍射图的图示包括该光谱和/或该衍射图的指示体。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中该第一图像(211)的图示构成为提供至少一个到该第一图像的数据目标的链接。

7.根据前述权利要求任一项所述的方法，其中所显示的第二指示体的颜色不同于所显示的第一指示体的颜色；和/或其中所显示的第二指示体的几何形状不同于所显示的第一指示体的几何形状。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中该带电粒子显微镜(2)是电子显微镜，并且第一探测器(24)用于该第一图像的成像以及第二探测器(26)用于该第二图像的成像，其中该第一探测器(24)对于背散射电子具有比该第二探测器(26)更高的相对灵敏度。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中该物体(10)的该第一区域(311)的横向范围大于该物体的该第二区域(313)的横向范围；

其中该第三图像(212)以及该第一图像和该第二图像(211，213)的图示显示在显示介质(41)上；并且

其中在该显示介质(41)上所显示的该第一图像(211)的图示的横向范围大于在该显示介质(41)上所显示的该第二图像(213)的图示的横向范围。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中该物体(10)的该第一区域(311)的中心和该物体(10)的该第三区域(312)的中心之间的连线与该物体(10)的该第二区域(313)的中心和该物体(10)的该第三区域(312)的中心之间的连线之间的角是第一角(ω)；

其中所显示的该第一图像(211)的图示的中心和所显示的该第三图像(212)的中心之间的连线与该第二图像(213)的图示的中心和所显示的该第三图像(212)的中心之间的连线之间的角是第二角(Ω)；并且

其中该第一角和该第二角之差的绝对值小于30°。

11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，进一步包括：

通过选择该第一图像(211)的图示和该第二图像(213)的图示中的一个来选择该第一图像和该第二图像中的一个；

显示所选择的图像；

其中在显示介质(41)上所显示的选择图像的横向范围大于在该显示介质(41)上所显示的各图像的图示的横向范围。