[发明专利]微机械数字扬声器

权利要求书

1.一种数字扬声器，包括：

基板；

关于基板固定的第一定片；

关于基板固定且与第一定片分隔一定距离的第二定片；

薄膜，在第一定片和第二定片之间且在其中薄膜与第一定片机械接触的第一位置和其中薄膜与第二定片机械接触的第二位置之间可移置；

其中第一定片和第二定片被布置为将薄膜从与第一位置和第二位置分隔开的静止位置分别向第一位置和第二位置静电移动。

2.依照权利要求1的数字扬声器，其中第一定片与第二定片基本上与基板的主表面平行地延伸。

3.依照权利要求1或2的数字扬声器，其中第一定片与处在其静止位置的薄膜之间的第一间隙和第二定片与处在其静止位置的薄膜之间的第二间隙基本上具有相同的间隙宽度。

4.依照在前权利要求的任一项的数字扬声器，进一步包括用于第二定片的连接半导体基板和第二定片的支撑结构。

5.依照在前权利要求的任一项的数字扬声器，其中当分别处在第一位置或第二位置中时薄膜与第一定片或第二定片之间的机械接触在薄膜的总区域的30％与90％之间的外切区域内发生，所述外切区域分别在薄膜和第一定片或第二定片之间包括一个接触点或多个接触点。

6.依照在前权利要求的任一项的数字扬声器，其中第一定片和第二定片中的至少一个包括从第二定片的面向薄膜的表面突出的至少一个隆起，其中薄膜基本上在隆起处机械接触第一定片和第二定片。

7.依照在前权利要求的任一项的数字扬声器，其中薄膜包括在第一定片或第二定片的方向上从薄膜表面突出的至少一个隆起。

8.依照在前权利要求的任一项的数字扬声器，其中第一定片和第二定片中的至少一个包括定片材料的主层和拉应力层。

9.依照权利要求8的数字扬声器，其中定片材料为多品硅而拉应力材料包括氮化硅材料。

10.依照在前权利要求的任一项的数字扬声器，其中第一定片、第二定片和薄膜中的至少一个包括掺杂半导体材料。

11.依照在前权利要求的任一项的数字扬声器，其中第一定片、第二定片和薄膜中的至少一个分别包括用于对第一定片、第二定片或薄膜的第一主表面处的第一腔体与第二主表面处的第二腔体进行连接的开口。

12.依照在前权利要求的任一项的数字扬声器，其中基板包括与第一定片相邻的空腔。

13.依照在前权利要求的任一项的数字扬声器，其中第一定片、薄膜和第二定片被布置在半导体基板的主表面上的堆叠中。

14.依照在前权利要求的任一项的数字扬声器，其中薄膜包括用于促进薄膜向第一位置和第二位置偏转的波纹。

15.依照在前权利要求的任一项的数字扬声器，进一步包括适于向第一定片提供第一电位、向第二定片提供第二电位和向薄膜提供第三电位的电位供给结构，这些电位彼此之间至少暂时不同。

16.一种包括数字扬声器阵列的数字扬声器布置，每个数字扬声器包括：

为数字扬声器阵列公用的基板；

关于基板固定的第一定片；

关于基板固定且与第一定片分隔一定距离的第二定片；

薄膜，在第一定片和第二定片之间且在其中薄膜与第一定片机械接触的第一位置和其中薄膜与第二定片机械接触的第二位置之间可移置；

其中第一定片和第二定片被布置为将薄膜从与第一位置和第二位置分隔开的静止位置分别向第一位置和第二位置静电移动。

17.一种数字扬声器，包括：

具有第一主表面且被布置在声音换能区域中的薄膜；

具有与薄膜的第一主表面平行的、在第一自由腔体的与第一主表面相对一侧的第二主表面的第一定片；

具有与薄膜的第一主表面平行的、在与第一主表面相邻的第二自由腔体一侧的第三主表面的第二定片；

其中薄膜具有与第一定片和第二定片分隔开的静止位置，并且其中第一定片和第二定片适于将薄膜分别朝向第一定片或第二定片静电吸引直到薄膜机械接触第一定片或第二定片。