[实用新型]一种磷化氢气体净化器

权利要求书

1.一种磷化氢气体净化器，其特征是净化器包括进气口(1)、前端扩散器(2)、过滤单元(3)、卡槽(4)、排架(5)、净化单元(6)、托架(7)、过滤单元盖板(8)、主壳体(9)、净化单元盖板(10)、压紧手轮(11)、末端扩散器(12)和出气口(13)；前端扩散器(2)和末端扩散器(12)位于净化器主壳体(9)两侧，过滤单元(3)、卡槽(4)、排架(5)、净化单元(6)和托架(7)位于净化器主壳体(9)内部，过滤单元(3)采用板式结构设计，固定在卡槽(4)内，用位于主壳体(9)侧面的过滤单元盖板(8)密封；净化单元(6)采用圆筒形结构设计，一端固定在排架(5)上，另一端固定在托架(7)上，净化单元盖板(10)位于净化器主壳体(9)的侧面，由压紧手轮(11)固定。

2.根据权利要求1所述磷化氢气体净化器，其特征是净化单元(6)的直径为100～1000mm，高度为200～2400mm，处理风量为50～500m³/h；净化材料装填在净化单元(6)中，净化材料是以沸石、分子筛、硅藻土、三氧化二铝或活性炭为载体的浸渍催化剂。

3.根据权利要求1所述磷化氢气体净化器，其特征是净化器含有5～200个净化单元(6)，并联搭配组合，处理风量为500～50000m³/h。