[实用新型]供给箱

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种供给箱。

背景技术

在彩色滤光片的生产过程中，会产生由于光阻剂涂布不均匀，光阻剂脱落，异物干扰等引起的光阻剂缺失不良。对于这些不良，通常采用光阻剂涂覆的方法进行修理。

目前，所述光阻剂采用如图1所示的供给箱存储，所述供给箱包括存储室11和位于存储室11底部的注射头12，光阻剂通过导流管13存储到存储室11中，借由外力，光阻剂通过注射头12注射到需要涂覆光阻剂的地方。然而，这种供给箱多为一次性使用装置，且由于光阻剂自身的化学性质决定其不能长时间在常温下保存，供给箱在使用6-8小时需要更换一次，由于更换频繁，严重影响设备的稼动率。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种供给箱，解决现有技术中由于光阻剂自身化学性质导致供给箱更换频繁，严重影响设备的稼动率的问题。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种供给箱，包括冷藏室和解冻室，所述冷藏室的出口与所述解冻室的入口连接，所述解冻室设有输出装置，所述解冻室的输出装置用于导出解冻室内的液体。

为了更精确地导出解冻室内的液体，方便作业，进一步的，所述解冻室的输出装置为一个存储室，所述存储室的底部设有注射头。

所述存储室设有导流管。

所述解冻室的出口与所述存储室的导流管的入口连接，所述解冻室的出口与所述导流管的入口之间设有第一开关装置。

所述冷藏室的出口与所述解冻室的入口之间设有第二开关装置。

进一步的，为了使得冷藏室中的液体定量的流入解冻室，所述冷藏室包括多个分体存储管，所述每个分体存储管的出口均与所述解冻室的入口连接，所述第二开关装置包括与所述分体存储管的出口相对应的子开关装置。

进一步的，为了方便控制，所述供给箱还包括第一控制装置，所述第一控制装置根据输入的信号来控制所述第一开关装置。

进一步的，所述供给箱还包括第二控制装置，所述第二控制装置根据输入的信号来控制所述第二开关装置。

进一步的，为了更精确地控制第二开关装置，所述第二控制装置为冷藏室集成控制单元，所述冷藏室集成控制单元包括信号输入端和信号输出端，所述冷藏室集成控制单元的信号输出端与所述第二开关装置电性连接，所述第二开关装置为电磁阀门，所述冷藏室集成控制单元根据所述解冻室中液体的存储信息控制所述第二开关装置。

进一步的，为了更精确地控制第一开关装置，所述第一控制装置为解冻室集成控制单元，所述第一开关装置为电磁阀门，所述解冻室集成控制单元包括第一信号输入端、第一信号输出端，所述解冻室集成控制单元的第一信号输出端与所述第一开关装置电性连接，所述解冻室集成控制单元根据所述存储室中液体的存储信息控制所述第一开关装置。

进一步的，所述解冻室集成控制单元还包括第二信号输出端，所述第二信号输出端用于输出解冻室中液体的存储信息。

进一步的，为了得到存储室中液体的存储信息，所述存储室还包括第二液面感应器或者流量传感器，所述解冻室集成控制单元的第一信号输入端与第二液面感应器或者存储室的流量传感器电性连接。

进一步的，为了得到解冻室中液体的存储信息，所述解冻室还包括第一液面感应器，所述冷藏室集成控制单元的信号输入端与第一液面感应器或者解冻室集成控制单元的第二信号输出端电性连接。

进一步的，为了在所述存储室需要向外注射大量液体时，辅助所述解冻室快速解冻由所述冷藏室流入所述解冻室中的液体，所述供给箱还包括温度调节器和温度感应器，所述解冻室集成控制单元还包括第二信号输入端和第三信号输出端，所述解冻室还包括温度感应器和温度调节器，所述第二信号输入端与温度感应器电性连接，所述第三信号输出端与温度调节器电性连接，所述解冻室集成控制单元通过温度调节器调节温度。

本实用新型实施例提供的供给箱，由于包括冷藏室和解冻室，在不需要使用需要低于常温保存的液体时，所述液体保存在冷藏室中；在需要使用所述液体时，首先将所述液体从所述冷藏室中取出并放入解冻室对所述液体进行解冻，解冻完成后将所述液体放入存储室中等待注射，使得需要低于常温保存的液体保存在低于常温的状态，采用即用即取的方式，解决了由于光阻剂自身化学性质导致供给箱更换频繁，严重影响设备的稼动率的问题。

附图说明

图1为现有技术中供给箱的结构示意图；

图2a为本实用新型实施例提供的供给箱的结构示意图一；

图2b为本实用新型实施例提供的供给箱的结构示意图二；