[实用新型]多晶硅分解炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅分解炉，特别涉及一种生产效率和成品质量高且能耗低的多晶硅分解炉。

背景技术

多晶硅是单质硅的一种形态。高温熔融状态下，具有较大的化学活泼性，能与几乎任何材料作用。具有半导体性质，是极为重要的优良半导体材料。其又是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。

目前的多晶硅生产方法主要是改良西门子法和硅烷法，硅烷法是硅烷（SiH4）是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在多晶硅分解炉中，在通电高温硅芯上进行分解生成纯度较高的棒状多晶硅。目前的多晶硅分解炉为一种悬挂式多晶硅分解炉，炉体下端设进气口，上端设出气口，炉体顶部悬挂数对通电钼丝，硅烷通过进气口进入炉体内，其在钼丝的表面热分解生成多晶硅，废气从储气管排出。这种结构的分解炉缺点是：分解炉内温度升高后，部分硅烷直接在炉体内分解成细小的多晶硅颗粒，无法附着在钼丝上，易随尾气排出，降低了生产效率。同时，炉体内温度较高，提高了炉体的设计厚度，增加了制造成本。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种生产效率和成品质量高且能耗低的多晶硅分解炉。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：一种多晶硅分解炉，包括钟罩式炉体和设在炉体底部的底盘，炉体和底盘上均设有冷却水夹套，其创新点在于：所述底盘上均布有二十四对电极座和十二个进气孔，每个进气孔对应相邻两对电极座，电极座上安装有硅芯；所述硅芯外套装有导热油夹套，该导热油夹套的内圈直径大于硅芯直径。

本实用新型的优点在于：硅烷通过进气孔进入炉体内后在高温通电硅芯上分解，生成棒状多晶硅产品。通过导热油夹套对硅芯周围的温度进行有效的控制，达到控制多晶硅生长速度的目的，使得大多数硅烷在硅芯的表面上分解，大大减少多晶硅颗粒的形成，提高了生产效率。硅芯周围的温度得到有效控制，可降低生产能耗，避免炉体内温度过高提高炉体的设计壁厚，降低了分解炉的制造成本。

附图说明

图1为本实用新型多晶硅分解炉结构示意图；

图2为本实用新型多晶硅分解炉的底盘俯视图。

具体实施方式

如图1、2所示，本实用新型涉及一种生产效率和成品质量高且能耗低的多晶硅分解炉，包括钟罩式炉体1和设在炉体1底部的底盘2，炉体1和底盘2上均设有冷却水夹套，底盘2上均布有二十四对电极座3和十二个进气孔4，每个进气孔4对应相邻两对电极座3，电极座3上安装有硅芯5。在硅芯5外套装有导热油夹套6，该导热油夹套6的内圈直径大于硅芯直径。