[实用新型]基于各向异性导热衬底的热式风传感器无效
| 申请号： | 201120011642.3 | 申请日： | 2011-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN201993379U | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 董自强;黄庆安;秦明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/10 | 分类号： | G01P5/10;G01P13/02 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 汤志武 |
| 地址： | 211109 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 各向异性 导热 衬底 风传 | ||
【权利要求书】：
1. 一种基于各向异性导热衬底的热式风传感器，其特征在于，包括各向异性导热衬底（7），所述各向异性导热衬底（7）衬底中围绕中心对称镶嵌有玻璃隔热内环（5）和玻璃隔热外环（6），并且，所述玻璃隔热内环（5）将向异性导热衬底（7）分割成各向异性导热衬底（7）的中心硅衬底及玻璃隔热内环（5）和玻璃隔热外环（6）之间的硅衬底，各向异性导热衬底（7）的中心硅衬底下表面围绕中心对称设置有4个加热元件（10），玻璃隔热内环（5）和玻璃隔热外环（6）之间的硅衬底下表面围绕4个加热元件（10）四周设置有4个热传感测温元件（11），在各向异性导热衬底（7）的边沿区域设置有电引出用焊盘（15），其中电引出用焊盘（15）由铂金属层（12）和金层（16）组成，4个加热元件（10）和4个热传感测温元件（11）通过各向异性导热衬底（7）背面的金属引线与电引出用焊盘（15）相连。
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