[实用新型]多线切割机砂浆循环及供给系统

说明书

技术领域

本实用新型属于切割砂浆供给技术领域，尤其是涉及一种多线切割机砂浆循环及供给系统。

背景技术

多线切割是切割大直径硅单晶棒非常有效的方法之一。近年来异军突起的多线切割机(简称线锯)以其极高的生产效率和出片率，在大直径硅片加工领域已逐渐取代内圆切割机，所切晶片具有弯曲度小、翘曲度小、平行度好、总厚度公差(TTV)离散性小、刃口切割损耗小、表面损伤层浅、晶片表面粗糙度小等特点；其切割材料涵盖各类半导体材料，如硅、锗、铌酸锂、砷化镓、磷化铟、人造宝石、碳化硅等，因此多线切割技术的应用也越来越广泛。

多线切割中必须使用一种具有流动性的混合研磨剂一切割砂浆(以下简称砂浆)。实际切割过程中，砂浆被往复运动的钢线带到切割区，被带入的砂浆决定硅片的切割质量；而钢线所带砂浆中所含有碳化硅微粉的粒型及粒度，是决定切割材料成品片表面光洁程度和切割能力的关键。若碳化硅微粉的粒型规则，切出来的成品片表面光洁度就会很好；碳化硅微粉的粒度分布均匀，会提高切割机的切割能力。

实际切割时，多线切割加工过程中会产生大量的废砂浆，这些废砂浆中含有大量的未参与切割的碳化硅刃料，与此同时也产生大量的切割废液，其主要成分为聚乙二醇与数种少量表面活性剂复配的混合物。由于表面活性剂特性是易于附着在碳化硅表面，如果采用离线回收会使上述部分表面活性剂流失，不仅产生严重的环境污染，而且浪费了大量的资源、增加了生产成本。目前，各家的切割液技术配方均处于高度保密状态，因此欲对回收液补充流失的表面活性剂很难做到完全补充，从而严重的影响了砂浆的切割质量。如采用循环系统直接回收碳化硅及切割液，能够保证大量的有效成分不会流失，不但避免了再处理过程中对环境的污染，同时避免了回收周期对使用的影响，亦可节约大量的时间及资金。

多线切割机是以单机为工作单元，现有的切割砂浆是采用人工将成品砂浆注入多线切割机砂浆罐中，不仅工作效率低、劳动强度大，同时可能因人为操作不慎易将环境中的固体物质带入砂浆，从而严重影响切割硅片的质量，造成不同程度的环境污染。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种多线切割机砂浆循环及供给系统，其设计合理、操作简便、能实现多台切割机同时供给且各管道中无砂浆存留，在提高工作效率、降低生产成本的同时，能有效改善工作环境，减少环境污染，并有效保证所供给成品砂浆的质量。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种多线切割机砂浆循环及供给系统，其特征在于：包括成品砂浆存储罐、主供给管道、辅助回流管道、支供给管道、废液回抽主管道、废液回抽支管道、对多线切割机切割使用后的废砂浆进行回收并存储的废液回收罐、对废砂浆进行分离提纯处理并提取出废砂浆中能再次投入使用的可再利用碳化硅和可再利用浆液的废砂浆分离提纯设备、对可再利用碳化硅和可再利用浆液分别进行存储的碳化硅浓浆存储罐和回收液存储罐、将碳化硅浓浆存储罐存储的可再利用碳化硅浓浆泵送至成品砂浆存储罐的碳化硅浓浆泵送管道、将回收液存储罐内存储的可再利用浆液泵送至成品砂浆存储罐的回收液泵送管道、以及向成品砂浆存储罐内补充提供切割液和碳化硅微粉的切割液补充管道和碳化硅微粉补充管道；所述成品砂浆存储罐、碳化硅浓浆存储罐、回收液存储罐和废液回收罐的罐体内均安装有电动搅拌器；所述主供给管道为由进液口至出液口逐渐向上倾斜的倾斜向管道一且所述倾斜向管道一与水平方向间的夹角α₁为10°＜α₁＜20°；所述主供给管道与成品砂浆存储罐出液口相接；

所述废砂浆分离提纯设备的进液口通过废液泵送管道与废液回收罐的出液口相接，碳化硅浓浆泵送管道的一端与碳化硅浓浆存储罐的出液口相接且其另一端伸入至成品砂浆存储罐内，回收液泵送管道的一端与回收液存储罐的出液口相接且其另一端伸入至成品砂浆存储罐内；所述废液泵送管道、碳化硅浓浆泵送管道和回收液泵送管道上分别安装有泵送设备一、泵送设备二和泵送设备四，所述主供给管道上安装有供给泵，所述废液回抽主管道上安装有回抽泵；

所述辅助回流管道的一端与主供给管道的出液口相接且二者之间安装有回流阀，所述辅助回流管道的另一端伸入至成品砂浆存储罐内；