[实用新型]一种圆形旋转加热装置有效
申请号: | 201120014077.6 | 申请日: | 2011-01-13 |
公开(公告)号: | CN201999985U | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
发明(设计)人: | 邱勇;藤野诚治 | 申请(专利权)人: | 昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;H01L51/56 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 圆形 旋转 加热 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及液晶材料制备技术领域,特别涉及一种用于制备有机发光二极管(OLED,Organic Light Emitting Diode)材料的圆形旋转加热装置。
背景技术
在制备有机发光二极管的过程中,需要对有机发光二极管的有机材料进行蒸镀工序,在蒸镀工序中通常利用一种圆形旋转加热装置来对有机材料进行加热。如图1所示,图1为现有圆形旋转加热装置的结构示意图,从图中可以看出现有圆形旋转加热装置包括圆柱形基座1,所述圆柱形基座1上设置有数个沿圆周排列的加热源2(图1中为5个),每个加热源2上设置有坩埚(图1中未示出),所述基座1中心设置有圆孔3,所述圆孔3与连接所述基座底部的圆管4一端相对应,所述圆管4另一端摆放着通过加热设备(图1中未示出)控制并与各个加热源2以加热线5相连的数个连接器6。当需要对坩埚内制备OLED的有机材料加热时,加热设备通过连接器和加热线对加热源加热,这样加热源通过坩埚对有机材料进行加热,这些有机材料在坩埚内加热后蒸发升华并沉积到OLED基板上,形成有机薄膜,从而完成蒸镀工序。
然而,在有机材料蒸发过程中,部分有机材料会沉积在加热线路和连接器上,长期有机材料的沉积会腐蚀加热线路和连接器,从而对加热线路和连接器造成损害,导致圆形旋转加热装置无法运作,以致蒸镀工序无法进行。
实用新型内容
为了解决现有技术存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种圆形旋转加热装置,通过在现有圆形旋转加热装置上增设盖板,防止蒸发的有机材料沉积在热线路和连接器上,从而保证了圆形旋转加热装置的正常运作和蒸镀工序顺利进行。
为了实现上述实用新型的目的,本实用新型提供一种圆形旋转加热装置,所述装置包括圆柱形基座,所述圆柱形基座上设置有数个沿圆周排列的加热源,每个加热源上设置有坩埚,所述基座中心设置有圆孔,所述圆孔与连接所述基座底部的圆管一端相对应,所述圆管另一端摆放着通过加热设备控制并与各个加热源以加热线相连的数个连接器,其特征在于,所述装置还包括设置在所述数个加热源之间用于覆盖所述圆孔的盖板,所述盖板高度比加热源低,这样就能有效的防止蒸发的有机材料沉积在加热线路和连接器上。
为了在基座上有效固定盖板,该盖板通过数个支撑杆设置在所述基座上。
为了有效疏通连线同时保证盖板的作用,所述盖板上设置有豁口,所述豁口包括对应所述圆孔的开口,所述加热线通过所述开口与所述连接器相连。
为了使加热线更容易通过豁口进入圆管内,所述豁口对应所述加热源设置。
为了便于维护装置和连接器,所述圆管与安装所述连接器的底座可拆卸设置。
本实用新型的优点是通过在现有圆形旋转加热装置上增设覆盖中心圆孔的盖板,从而可以有效防止蒸发的有机材料沉积在热线路和连接器上,从而保证了圆形旋转加热装置的正常运作和蒸镀工序顺利进行。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,构成本申请的一部分,并不构成对本实用新型的限定。在附图中:
图1是现有圆形旋转加热装置的结构示意图。
图2是本实用新型实施例提供的一种圆形旋转加热装置的结构示意图。
图3是本实用新型实施例提供的另一种圆形旋转加热装置的俯视结构示意图。
图4是图2或图3中圆形旋转加热装置拆卸状态示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下面结合附图对本实用新型实施例做进一步详细说明。本实用新型实施例为一种圆形旋转加热装置,该圆形旋转加热装置上增设有覆盖中心圆孔的盖板,从而可以有效防止蒸发的有机材料沉积在热线路和连接器上,
在此,需要说明本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,但并不作为对本实用新型的限定。
本实用新型实施例提供一种圆形旋转加热装置,如图2所示,该圆形旋转加热装置结构与现有圆形旋转加热装置基本相同,主要区别在于本实用新型实施例提供的圆形旋转加热装置还包括设置在数个加热源2之间用于覆盖所述圆孔3的盖板7,所述盖板高度比加热源低,这样就能有效的防止蒸发的有机材料沉积在加热线路5和连接器6上。图2中盖板7是通过数个支撑杆8支撑设置在基座1上的,此时盖板7并没有完全压盖在圆孔3上,而是和圆孔3保持一点距离,也即和基座1底部留有空隙,该空隙的作用仅仅是为了使加热线5通过圆孔3伸入圆管4中与连接器6相连,所以该空隙不能较大,否则会使蒸发的有机材料通过空隙沉积在加热线5和连接器6上。
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