[实用新型]一种多晶硅铸锭炉安全监控装置

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉安全监控装置，包括铸锭炉(1)，铸锭炉(1)上端口通过上法兰(8)与炉体端盖(3)密封连接，铸锭炉(1)内设有铸锭坩埚(2)，其特征是：铸锭炉(1)内对应铸锭坩埚(2)下底部处设有一用于监控铸锭坩埚(2)内硅液外漏的监控装置(4)，监控装置(4)通过总管道(7)与显示器(5)相连接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉安全监控装置，其特征是：所述总管道(7)设有外、中、内三层，外层为冷却水进水管(24)，中层为冷却水回水管(26)，内层为电源信号线管(25)，电源信号线管(25)内设有电源信号线(6)。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉安全监控装置，其特征是：监控装置(4)包括壳体(12)和固定于壳体(12)内部的摄像机(15)，摄像机(15)前部固定有一玻璃盖板(21)，玻璃盖板(21)中部对应于摄像机(15)镜头的位置设有透光石英玻璃(20)，玻璃盖板(21)还通过紧固螺丝(22)连接有锥形窗(19)，摄像机(15)通过电源信号线(6)与显示器(5)连接；壳体(12)后端固定有法兰(11)，法兰(11)通过法兰紧固螺丝(27)与后法兰盖(9)密封连接；壳体(12)外周设有冷却水管道，冷却水管道通过冷却水夹层(17)分为冷却水管外层(16)和冷却水管内层(18)，冷却水管外层(16)和冷却水管内层(18)之间通过夹层通孔(23)相连通，冷却水管外层(16)与冷却水进水管(24)相连，冷却水管内层(18)与冷却水回水管(26)相连。

4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉安全监控装置，其特征是：所述法兰(11)与后法兰盖(9)之间设有法兰垫片(10)，透光石英玻璃(20)后端与玻璃盖板(21)之间设有橡胶垫片(14)，前端与锥形窗(19)之间设有O型密封圈(13)。 

5.根据权利要求1、2或3所述的多晶硅铸锭炉安全监控装置，其特征是：炉体端盖(3)与冷却水进水管(24)、电源信号线管(25)、冷却水回水管(26)的连接处下方设有橡胶垫片(14)，上方依次设有O型密封圈(13)、压片(29)和紧固螺母(28)。

6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉安全监控装置，其特征是：电源信号线管(25)内部设有环氧树脂密封胶(30)。