[实用新型]光学检测设备LED照明灯

说明书

技术领域

实用新型是对光学显微检测设备照明灯的改进，尤其涉及一种采用LED作光源，照明效果好，无阴影，视场清晰的光学检测设备LED照明灯。

背景技术

在光学检测中，对于能在反射照明下可以成像的器件，通常采用反射照明检测。为能在CCD相机中产生好的成像效果，要求照明灯具备照明均匀，无阴影，照明亮度高，视场清晰。LED因能耗低发热少，为高亮度白光，成本相对低，对亮度控制信号的响应频率高，在光学检测设备照明中得到重视，特别是强光LED照明作为一种新型照明手段在检测设备中将会被广泛采用。

而对于一些有复杂结构表面或有划痕表面物品，例如大多数光电器件如晶体裸片、晶硅太阳能电池片、微电子键合工艺等器件的反射式照明检测。此类被检测器件极易产生漫反射效应，因而对这类器件光学检测照明要求更高。现有光学反射式检测照明灯，一种为采用如中国专利CN201611051U所述同轴照明，由于同轴照明入射面不够大，在被检测物表面产生漫反射时，不能获得均匀的照亮效果，造成光强不够，产生阴影残留，影响检测精度和检测效率。因而人们开发出大偏角(也称高入射角)环形照明灯，以降低漫反射产生的阴影效果，大偏角照射 (通常入射角75度)LED为将高入射角LED排成圈的环形照明灯，例如中国专利CN2833637、CN2476829、CN2828846、CN201651996U、CN201513852U、CN200986612等所述。单一高入射角环形照明灯，虽然能降低有漫反射效应器件光学检测产生阴影，但照明角覆盖仍不够充分，并且此类器件的漫反射效应严重，对检测光的耗散比较严重，仍会产生阴影，影响CCD相机检测精度；其次，不同物品器件其漫反射效果客观上不同，漫反射差异较大，造成不同器件阴影不同，导致单一环形斜角度入射角，对于某些被检测器件，可能基本能满足要求，而对于另一类器件，则照亮效果不理想，对检测器件通用性差，达不到对不同器件都能有满意的照亮效果和要求，因而影响显微分析效能；特别是微米量纲级键合工艺及微米量纲级任意走向晶体划痕，两种工艺器件的漫反射面触发角常常变化多端，因而很难满足CCD相机成像要求，影响后续的检测和分析。

中国专利CN201035211可调节显微镜照明灯，将照明灯设置在两端有两个铰链结构连接的伸缩调整拉杆上，通过设置在显微镜主体上的操作按键和电路控制装置，实现在不同方向和位置对被观察物体的照明。

中国专利CN2833640分区、分圈、分弧度控制LED环形光源，采用计算机、控制装置以及推杆、活动卡座、压簧挡板组成的灯座组成，以实现照明角度、照明亮度等能够快速调整。

中国专利CN201513840U由多块LED印刷电路板块构成环形LED调焦节能灯，分别通过卡簧与灯体环形内壁连接，且多块带有LED的印刷电路板块弹性上翘，调焦套中调节件与多块带有LED的印刷电路板块相触。

上述虽然通过调焦，能够改善照亮均匀，但不仅装置结构复杂，造成成本增加，并且复杂结构难以用于小型的显微成像系统。占用空间过大也影响被测物装卸的便利性；其次，依然未能克服入射角度单一的缺陷。上述不足仍有值得改进的地方。

实用新型内容

实用新型目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种有效照射面积大，照明亮度高且均匀，可以在漫反射光电器件上产生“全覆盖偏角照明”效果，可以满足多种易产生漫反射效应不同器件照明检测的光学检测设备LED照明灯。

实用新型目的实现，主要改进是在原单环高入射角照明灯外围，再增加一个低角度照射的外环灯，使照明灯同时具备高角度和低角度组合入射双环照明灯，从而增大了照射范围(面积)，形成高亮度、无阴影、均匀照明，满足CCD相机对不同漫反射器件好的成像效果，从而克服现有技术的不足，实现实用新型目的。具体说，实用新型光学检测设备LED照明灯，包括由多个LED点光源高入射角照射组成的环形灯，其特征在于高入射角照射环形灯外围，有低入射角LED组成的外环形灯。

在详细说明前，先通过对发明能够达到的基本功能及效果作一介绍，以使本领域技术人员对本专利总体构思技术方案及达到的基本效果有一个明确了解。