[实用新型]单晶锭制造装置

权利要求书

1.一种单晶锭制造装置，其特征在于，包括：

主体；

设置在所述主体内的坩埚；

至少两个主加热器，所述至少两个主加热器沿所述坩埚的轴向彼此间隔开地设置在所述坩埚的四周，用于熔化容纳在坩埚内的给料，所述至少两个主加热器分别单独控温；

籽晶夹头，所述籽晶夹头位于所述坩埚之上，用于夹持籽晶；

保温部件，所述保温部件设置在所述坩埚的周围；和

底部加热器，所述底部加热器设在所述坩埚的下方且与坩埚的底部之间具有预定距离。

2.根据权利要求1所述的单晶锭制造装置，其特征在于，所述主加热器包括两个，且所述两个主加热器沿所述坩埚的轴向间隔开设置。

3.根据权利要求1所述的单晶锭制造装置，其特征在于，所述主加热器包括三个，且所述三个主加热器沿所述坩埚的轴向间隔开设置。

4.根据权利要求2或3所述的单晶锭制造装置，其特征在于，所述至少两个主加热器中的每一个均为一体地环形设置在所述坩埚的周向外侧。

5.根据权利要求2或3所述的单晶锭制造装置，其特征在于，所述至少两个主加热器中的每一个均包括：

至少两个分加热器，所述至少两个分加热器沿所述坩埚的周向依次排列设置在所述坩埚的外侧。

6.根据权利要求5所述的单晶锭制造装置，其特征在于，所述分加热器的数量为两个且两个分加热器分别呈半圆形以围绕所述坩埚外周。

7.根据权利要求1所述的单晶锭制造装置，其特征在于，进一步包括称重单元，所述称重单元连接至所述籽晶夹头用于称取晶体产品的重量，其中，

所述主加热器和/或所述底部加热器基于所述称重单元的检测结果被控制加热以防止晶体产品粘接到坩埚底部和/或侧壁、并在发生粘接时熔化粘接至所述坩埚的晶体产品。

8.根据权利要求1所述的单晶锭制造装置，其特征在于，进一步包括热交换器，所述热交换器位于所述坩埚的顶部和籽晶夹头之间，所述籽晶夹头可升降地穿过所述热交换器且所述热交换器中通入冷却介质以对所述籽晶进行冷却。

9.根据权利要求8所述的单晶锭制造装置，其特征在于，所述冷却介质为水或者氦气。

10.根据权利要求1所述的单晶锭制造装置，其特征在于，所述保温部件包括：

第一保温部件，所述第一保温部件设置在所述坩埚的上方；

第二保温部件，所述第二保温部件设置在所述主加热器与所述主体之间；

第三保温部件，所述第三保温部件设在所述底部加热器与所述主体之间。

11.根据权利要求10所述的单晶锭制造装置，其特征在于，第一保温部件为热反射屏和/或保温层；所述第二保温部件为热反射屏和/或保温层；以及

所述第三保温部件为热反射屏和/或保温层。

12.根据权利要求10所述的单晶锭制造装置，其特征在于，所述热反射屏由钨、钼、钨钼合金或石墨形成，所述保温层由保温碳毡形成。

13.根据权利要求1所述的单晶锭制造装置，其特征在于，所述主加热器由钨、钨钼合金或石墨形成。

14.根据权利要求1所述的单晶锭制造装置，其特征在于，所述单晶锭为蓝宝石晶锭。