[实用新型]一种用电磁炉作加热器的扩散泵

说明书

技术领域

本实用新型属于真空设备制造技术领域，具体涉及一种用电磁炉作加热器的扩散泵。

背景技术

扩散泵是一种真空泵设备，一般和机械泵两级联合抽气的方式来获取高真空。相比于分子泵而言，它可长期连续使用而无需维护，便宜，又无需特殊的控制系统，目前仍广泛用在电镜、磁控溅射等一些真空领域中。扩散泵的主要结构包括冷却管、扩散喷嘴、蒸气导管、泵体、加热炉等。扩散泵的加热炉一般采用电阻炉加热的方式，但这种加热方式存在一些弊端。如文献1：于炳琪.扩散泵加热恒功率控制仪.真空.1999(5)中记载的加热功率易受电源电压波动的影响而对扩散泵抽速和极限压强不利，同时加热电炉因加热丝易高温氧化寿命下降，扩散泵无法长时间稳定工作。还有文献2：王大庆等.一种简易扩散泵封闭式加热器.分析测试技术与仪器.1997.3(2)中记载的进口的设备像JEM-200CX透射式电子显微镜和JEE-4X真空喷镀仪，采用不可拆卸式结构的扩散泵加热器，电炉丝完全封死在发热盘内，一旦电炉丝熔断，整个加热器便报废，造成极大的财力浪费。电阻炉的电阻丝在高温时或者潮湿环境中很容易被空气氧化，严重影响电阻丝的使用寿命，一般一年左右就要更换电阻丝。同时采用电阻炉作加热炉还有具有加热效率低、消耗电能高、散热速率慢、漏电等缺点，导致扩散泵启动时间较长(一般加热45分钟后才可运行扩散泵)、运行所需电力成本高、触电等严重问题。因此设计一种升温快、热效率高、消耗电能低、使用寿命长、安全性能好等优点新型加热器的扩散泵具有很大的现实意义和广阔的市场前景。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种用电磁炉作加热器的扩散泵，该用电磁炉作加热器的扩散泵具有升温快、热效率高、消耗电能低、使用寿命长等优点，且该扩散泵的启动和关闭工作时间短，安全性高，功率可控制调节，能够稳定扩散泵抽气速度，提高扩散泵的工作效率。

本实用新型提出的一种用电磁炉作加热器的扩散泵，主要包括已移除加热炉的扩散泵、电磁炉、固定板、炉罩、炉底板和平面支撑架。

所述的电磁炉设置在平面支撑架上，电磁炉及平面支撑架均位于炉罩中，该炉罩配合电磁炉的形状为中通的圆形或方形筒形结构，炉罩的壁厚为8～10mm，炉罩的侧面具有穿线孔，通过该穿线孔将电磁炉与外接的功率控制面板通过电线相连接，所述的炉底板的中心具有螺 孔，孔径为20～30mm，穿过该螺孔将升降螺杆安装在炉底板上，并将升降螺杆的顶部连接在平面支撑架的底部，通过调节升降螺杆使平面支撑架上固定的电磁炉上下移动，升降螺杆的升降高度为100～120mm。炉底板的边缘位置具有若干螺通孔A，穿过螺通孔A将炉罩的下表面通过螺钉与炉底板固定连接，所述的炉底板上具有散热孔，散热孔的位置与电磁炉散热扇相对，便于电磁炉的散热。固定板的边缘位置均匀分布有若干孔径为5～8mm的螺通孔B，穿过这些螺通孔B将固定板与炉罩的上表面固定连接，固定板的形状根据所选电磁炉的形状为圆形或方形，其尺寸比电磁炉的尺寸大10～15mm，以便扩散泵泵底能够全部处于在电磁炉的加热面上。所述的固定板的中心具有通孔，通孔的尺寸和形状与扩散泵泵底的尺寸和形状相同，使扩散泵泵底能够套在固定板的通孔中，固定板的通孔侧壁与扩散泵泵底固定连接，所述的扩散泵是通过外连接支架支撑和固定的，且固定板的下表面高于扩散泵泵底底面的5～8mm，所述的固定板的通孔侧壁与扩散泵泵底通过焊接的方式固定连接。炉罩的桶壁侧面优选具有开槽，开槽的长度和高度能够使炉罩中的电磁炉方便的移入或移出炉罩内部。当炉罩的侧面不设置有开槽时，电磁炉通过炉底板的装拆方式移入或移出炉罩。炉罩的形状根据所述的电磁炉的形状为圆柱形或立方形。炉罩的高度比电磁炉的厚度高20～50mm，根据实际需要方便升降电磁炉用来满足实时要求。在炉罩上下两面分别对应固定板和炉底板的螺孔位置开形状尺寸一致的螺盲孔通过螺钉螺母连接固定板和炉底板。

本实用新型具有的优点在于：

1、本实用新型提出的一种用电磁炉作加热器的扩散泵，升温快、热效率高、消耗电能低、使用寿命长。

2、本实用新型提出的一种用电磁炉作加热器的扩散泵，启动和关闭工作时间短、省时、启动和冷却时间短、易控温、安全性好。

3、本实用新型提出的一种用电磁炉作加热器的扩散泵，功率既可控又可调，稳定扩散泵抽气速度，提高扩散泵的工作效率。

4、本实用新型提出的一种用电磁炉作加热器的扩散泵，结构简单，易于安装，散热效果好。

附图说明

图1：本实用新型的一种用电磁炉作加热器的扩散泵结构示意图(炉罩不带有开槽)；