[实用新型]一种新型传动旋转端头有效
| 申请号： | 201120023557.9 | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN201981252U | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张俊峰;魏庆瑄 | 申请（专利权）人： | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海衡方知识产权代理有限公司 31234 | 代理人： | 王福新 |
| 地址： | 201617 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 传动 旋转 端头 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型传动旋转端头，包括机座装置、驱动轴装置、中间水流输送装置、水连接装置、壳体，靶材，其特征在于，所述中间水流输送装置与驱动装置之间设置水密封装置，所述驱动装置与机座装置之间设置有真空密封装置。
2.根据权利要求1所述的传动旋转端头，其特征在于，所述中间水流输送装置末端的外缘上设置有开合螺母，所述开合螺母把靶材固定在驱动装置的末端。
3.根据权利要求1所述的传动旋转端头，其特征在于，所述驱动装置与壳体之间设置有轴套支撑装置。
4.根据权利要求1所述的传动旋转端头，其特征在于，所述机座装置的侧端还设置有一条同步带，所述同步带的末端连接有水电连接装置。
5.一种新型传动旋转端头，包括机座装置、驱动轴装置、中间水流输送装置、水连接装置、壳体，靶材，其特征在于，所述中间水流输送装置与驱动装置之间设置双排水密封装置，所述驱动装置与机座装置之间设置有双排真空密封装置。
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