[实用新型]用于扩散炉的碳化硅桨

说明书

技术领域

  本实用新型专利涉及一种碳化硅桨，尤其涉及一种用于制作太阳电池硅片的扩散炉中的碳化硅桨。

背景技术

   目前传统的扩散在太阳能电池片的制造过程中起着至关重要的作用，这个过程中在电池片内部形成的PN结是太阳能电池的心脏。要制造一个PN结，必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域，另一部分是N型区域，制作太阳电池的硅片是P型的，目前采用的方法是将硅片放入石英器件中，通入含磷的气体，在有磷渗透的一面就形成了N型，在没有渗透的一面是原始P型的， 这样就达到了在硅片内部形成了所要的PN结。

   扩散过程中硅片放置于石英舟中，再装载于碳化硅桨上，在石英管中进行加工，扩散气源是从石英炉管尾部通入，由于气流的流动关系，硅片的中间部分接触的气源较少，往往方块电阻较大，影响电池片整体质量。

发明内容

   本实用新型主要是解决现有技术中存在的不足，提供一种使气流均匀的分布在硅片的周围，达到更好的扩散效果的用于扩散炉的碳化硅桨。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的： 

    一种用于扩散炉的碳化硅桨，包括碳化桨体，所述的碳化桨体中设有石英舟孔位。为了了使硅片各部位周围所包含的气源浓度相近，在扩散中形成均匀的片内方块电阻，可将碳化硅桨承载石英舟的相应部位镂空形成石英舟孔位，这样可以使气流在硅片周围分布更均匀，达到更好的扩散效果。

    作为优选，所述的碳化桨体包括桨头和桨尾，所述的石英舟孔位设在桨头中，所述的石英舟孔位为长条状。

   作为优选，所述的石英舟孔位的两端为圆弧状。

   因此，本实用新型的用于扩散炉的碳化硅桨，结构简单，效率高，提升产品质量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

    实施例1：如图1所示，一种用于扩散炉的碳化硅桨，包括碳化桨体1，所述的碳化桨体1中设有石英舟孔位2，所述的碳化桨体1包括桨头3和桨尾4，所述的石英舟孔位2设在桨头3中，所述的石英舟孔位2为长条状，所述的石英舟孔位2的两端为圆弧状。