[实用新型]一种底部散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种底部散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉，其特征是：感应线圈（12）的内部装有保温套筒（9），保温套筒（9）的上面活动安装保温套盖（7），保温套盖（7）通过保温盖连杆（5）连接到炉盖（6）上，保温套筒（9）的里面套装石墨套筒（29），保温套筒（9）和石墨套筒（29）均固定在支架（17）上，石墨套筒（29）的上面安装料斗支架（11），料斗支架（11）的上面安装石墨料斗（10），料斗支架（11）和石墨料斗（10）共同围成一个加料的空间，石墨料斗（10）的开口处是石墨盘（8），石墨盘（8）由石墨杆（4）连接到顶部螺杆（1），顶部螺杆（1）由顶部变速箱（2）、伺服电机（3）共同控制升降，炉底部分的水冷铜托盘（22）通过底座支架（23）连接在炉底盖（21）上，石墨支架（19）直接支撑在水冷铜托盘（22）上，石墨托盘（18）支撑在石墨支架（19）上，石墨托盘（18）上面是石墨坩埚，石墨坩埚里面套装石英坩埚（14）。

2.根据权利要求1所述的一种底部散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉，其特征是：所述水冷铜托盘（22）与石墨托盘（18）之间有保温层，保温层采用三层碳毡，分别是下散热挡板（26）、上散热挡板（27）、碳毡圈（28），可移动的下散热挡板（26）和上散热挡板（27）分别连接动力系统。

3.根据权利要求1所述的一种底部散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉，其特征是：所述动力系统由螺杆（33）、变速器（34）、伺服电机（35）和连接件（36）构成。

4.根据权利要求1所述的一种底部散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉，其特征是：所述水冷盘入水口（24）、水冷盘出水口（25）是水冷铜托盘（22）冷却水口。