[实用新型]湿制程设备

权利要求书

1.一种湿制程设备，其特征在于包括：

槽体，用以容置浸渍液；

第一滚轮，可转动地配置于该槽体内，且与该槽体的底部相距第一高度，该第一滚轮用以让材料膜绕于其上；以及

第二滚轮，可转动地配置于该槽体内，且与该槽体的该底部相距第二高度，该第二高度相异于该第一高度，该第二滚轮用以让该材料膜绕于其上，其中，该第一滚轮及该第二滚轮中的至少其中之一可移动地配置于该槽体内，以在水平方向上移动。

2.根据权利要求1项所述的湿制程设备，其特征在于：该第一滚轮与该槽体的底部于垂直方向上相距该第一高度，该第二滚轮与该槽体的底部于该垂直方向上相距该第二高度，该第一滚轮的轴心方向平行于该第二滚轮的轴心方向，该水平方向垂直于该垂直方向，且该水平方向垂直于该第一滚轮的轴心方向及该第二滚轮的轴心方向。

3.根据权利要求1所述的湿制程设备，其特征在于该湿制程设备还包括：

滑轨，配置于该槽体的该底部上；以及

二线性轴承，可滑动地配置于该滑轨上且彼此相对，该第一滚轮及该第二滚轮的两端分别枢接于该二线性轴承。

4.根据权利要求1项所述的湿制程设备，其特征在于：该第一滚轮可移动地配置于该槽体内，该湿制程设备还包括：

另一第一滚轮，可转动地且可移动地配置于该槽体内，且与该槽体的该底部相距该第一高度，以在该水平方向上移动；以及

连接结构，固定于该第一滚轮与另一该第一滚轮。

5.根据权利要求4所述的湿制程设备，其特征在于该湿制程设备还包括：

二第一滑轨，分隔地配置于该槽体的该底部上；

二第二滑轨，分隔地配置于该槽体的该底部上；

二第一线性轴承，可滑动地配置于该些第一滑轨上且彼此相对，该第一滚轮的两端分别枢接于该二第一线性轴承；

二第二线性轴承，可滑动地配置于该些第二滑轨上且彼此相对，该第二滚轮的两端分别枢接于该二第二线性轴承；以及

二第三线性轴承，可滑动地配置于该些第一滑轨上且彼此相对，另一该第一滚轮的两端分别枢接于该二第三线性轴承；

其中，该连接结构固定位于其中一个该第一滑轨上的该第一线性轴承及该第三线性轴承。

6.根据权利要求4项所述的湿制程设备，其特征在于：该第一滚轮的轴心方向平行于另该第一滚轮的轴心方向。