[实用新型]通孔注射填充机有效

专利信息
申请号: 201120042589.3 申请日: 2011-02-14
公开(公告)号: CN201975376U 公开(公告)日: 2011-09-14
发明(设计)人: 福德·伽俐俐 申请(专利权)人: 大连保税区新时代国际工贸有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H01L21/768
代理公司: 北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012 代理人: 王昭林;崔华
地址: 116600 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 注射 填充
【权利要求书】:

1.一种通孔注射填充机(10),包括:

X、Y、θ手动调节工作台;

陶瓷片(11),该陶瓷片(11)通过销孔配合定位在X、Y、θ手动调节工作台的平坦的上表面上,该陶瓷片(11)中设置多个待填充通孔(12);

汽缸(40);

汽缸驱动工作台(30),汽缸(40)驱动连接到该汽缸驱动工作台(30),陶瓷片(11)设置在X、Y、θ手动调节工作台和汽缸驱动工作台(30)之间,并且X、Y、θ手动调节工作台、陶瓷片(11)、汽缸驱动工作台(30)在竖直方向上对准,

其特征在于:

所述X、Y、θ手动调节工作台包含一滑块导轨机构(50),滑块导轨机构(50)包括基板(51)、滑板(52)、导轨(53)、滑块(54)、连接板(55)、受压呈现凸形的凹形弹簧钢片(56),滑板(52)平放在基板(51)上,导轨(53)通过螺栓螺孔配合固定在基板(51)上,滑块(54)与导轨(53)相互之间可滑动地配合,滑块(54)在与导轨(53)相对的一侧上固定连接到连接板(55),连接板(55)在与滑块(54)相对的一侧上通过螺栓固定到弹簧钢片(56)的中段,弹簧钢片(56)的两端分别通过螺栓固定到滑板(52)。

2.根据权利要求1所述的通孔注射填充机(10),其特征在于,所述X、Y、θ手动调节工作台具有X、Y、θ三个方向的偏移量,即,做直线运动的X和Y方向以及做圆周运动的θ方向。

3.根据权利要求2所述的通孔注射填充机(10),其特征在于,进一步包括设置在X、Y、θ手动调节工作台一侧的摄像对位装置,掩膜(45)的通孔通过摄像对位装置与陶瓷片(11)的待填充通孔(12)在竖直方向上对准。

4.根据权利要求1所述的通孔注射填充机(10),其特征在于,所述X、Y、θ手动调节工作台为真空工作台,该真空工作台中设置真空发生器。

5.根据权利要求1所述的通孔注射填充机(10),其特征在于,滑块(54)与导轨(53)相互之间滑柱-滑槽配合。

6.根据权利要求1所述的通孔注射填充机(10),其特征在于,所述汽缸驱动工作台(30)中设有一内腔,该内腔的开口朝向陶瓷片(11)并被掩膜(45)封住,在该内腔中设置一胶皮气囊(42)从而将该内腔分为注射腔(43)和浆料腔(44),浆料腔(44)由胶皮气囊(42)和掩膜(45)共同限定,该汽缸驱动工作台(30)还设置一空气压力入口(41),该空气压力入口(41)与注射腔(43)流体连通,其中,掩膜(45)中设置多个通孔,掩膜(45)的通孔与陶瓷片(11)的待填充通孔(12)一一对应并在竖直方向上对准。

7.根据权利要求6所述的通孔注射填充机(10),其特征在于,掩膜(45)中的通孔在尺寸上设置为略小于陶瓷片(11)中的待填充通孔(12)。

8.根据权利要求6所述的通孔注射填充机(10),其特征在于,所述浆料腔(44)中的浆料为金属浆料。

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