[实用新型]硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置

权利要求书

1.一种硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置，其特征是：进口管(1)连接到垂直电泳槽筒体(2)上，在垂直电泳槽中上方为阳极电极管(3)下方为阴极电极管(4)，阳极电极管由一根主电极管和相垂直的副电极管组成，阳极电极管下方有小孔，阳极电极管主电极管出口连接硅出口管(5)，硅出口管另一侧连接硅出口泵(6)，硅出口泵连接到硅回收罐(7)中；阴极电极管也是由一根主电极管和相垂直的副电极管组成，阴极电极管上方有小孔，阴极电极管主电极管连接碳化硅出口管(8)，碳化硅出口管另一侧连接碳化硅出口泵(9)，碳化硅出口泵连接到碳化硅回收罐(10)中，外置电源(11)正极连接到阳极电极管上，负极连接到阴极电极管上。

2.根据权利要求1所述的硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置，其特征是：电极采用了电极管的形式，阴阳极电极管均由一根主电极管和相垂直的副电极管组成，并且在电极管上开了若干小孔。

3.根据权利要求1所述的硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置，其特征在于：电泳槽采用注塑材料整体加工成形，或者采用金属材料分体做成。

4.根据权利要求2所述的硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置，其特征在于：电极采用金属及合金材料。