[实用新型]可调式制程腔体结构无效
| 申请号： | 201120046664.3 | 申请日： | 2011-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN202022973U | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 游中志;张仑峰 | 申请（专利权）人： | 富临科技工程股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 中国台湾台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 调式 制程腔体 结构 | ||
1.一种可调式制程腔体结构，其特征在于，包括：
一主制程腔体，具有一内侧表面；
一固定装置，设置于该主制程腔体的内部，以架设一被镀物；
复数个子制程腔体，设置于该主制程腔体的内部；以及
复数个可调式支撑装置，设置于该主制程腔体的该内侧表面，以承载该子制程腔体，每一可调式支撑装置包含：
滑轨装置；
柱体；
支撑架；及
平移装置；
其中，该每一可调式支撑装置用以调整其所承载的该子制程腔体与该被镀物的相对位置，该每一子制程腔体是以反应性溅镀的方式于该被镀物的表面上形成镀膜。
2.如权利要求1所述的可调式制程腔体结构，其特征在于，其中该复数个可调式支撑装置的数目大于或等于该复数个子制程腔体的数目。
3.如权利要求1所述的可调式制程腔体结构，其特征在于，其中该柱体为一高度调整装置。
4.如权利要求3所述的可调式制程腔体结构，其特征在于，其中该高度调整装置是以螺帽、垫片或升降管调整其高度。
5.如权利要求3所述的可调式制程腔体结构，其特征在于，其中该高度调整装置是结合该滑轨装置以调整该复数个子制程腔体倾斜为一角度。
6.如权利要求5所述的可调式制程腔体结构，其特征在于，其中该角度介于正5度至负5度之间。
7.如权利要求1所述的可调式制程腔体结构，其特征在于，其中该复数个可调式支撑装置的材质为不锈钢。
8.如权利要求1所述的可调式制程腔体结构，其特征在于，其中该复数个子制程腔体的大小是根据溅镀的面积调整。
9.如权利要求1所述的可调式制程腔体结构，其特征在于，其中该被镀物为圆筒状。
10.如权利要求9所述的可调式制程腔体结构，其特征在于，其中该圆筒状被镀物为可挠式材料。
11.如权利要求1所述的可调式制程腔体结构，其特征在于，其中该平移装置为一于该支撑架上所形成的孔洞结构，调整该子置程腔体的位置。
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