[实用新型]一种蓝宝石单晶炉有效
申请号: | 201120047335.0 | 申请日: | 2011-02-24 |
公开(公告)号: | CN201962419U | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 徐永亮;施海斌;周波 | 申请(专利权)人: | 浙江昀丰新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明;魏晓波 |
地址: | 321037 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 | ||
1.一种蓝宝石单晶炉,包括坩埚、加热器、以及设于所述加热器和所述坩埚外围的保温系统,其特征在于,所述保温系统包括沿所述坩埚轴向延伸、呈圆筒状的保温钨筒,该钨筒具有一体式结构。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,所述保温系统还包括设于所述加热器下方的第一钨保温片。
3.根据权利要求2所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,所述保温系统包括设于所述坩埚上方的第二钨保温片。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,所述保温系统还包括设于所述第一钨保温片下方的第一保温屏、设于所述第二钨保温片上方的第二保温屏,以及设于所述保温钨铜外周的第三保温屏。
5.根据权利要求1至4任一项所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,所述保温系统还包括环绕所述保温钨筒外周的纤维保温毯。
6.根据权利要求1至4任一项所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,还包括设于所述保温系统下侧的锆盘,所述保温系统与所述锆盘的上表面搭接。
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