[实用新型]镀膜窗无效
申请号: | 201120047545.X | 申请日: | 2011-02-24 |
公开(公告)号: | CN202007269U | 公开(公告)日: | 2011-10-12 |
发明(设计)人: | 游中志;张仑峰 | 申请(专利权)人: | 富临科技工程股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52;C23C14/56;C23C16/54;C23C16/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 梁爱荣 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 | ||
1.一种镀膜窗,用于一卷对卷制程中的制程腔体上,其特征在于包括:
一框架,具有一上边框、一下边框、一右边框、及一左边框;
二遮板,包含有一左遮板及一右遮板;以及
多个锁附孔,开设于该上边框的左右两端、该下边框的左右两端、该左遮板、及该右遮板;
其中,该框架的该上边框、该下边框、该右边框、及该左边框形成一窗口,该左遮板及该右遮板分别以至少一锁固元件固定在开设于该上边框与该下边框的锁附孔,并通过调整该左遮板及该右遮板固定的位置而调整该窗口的大小;以及
该框架上还设置有固定元件,用以将该框架固定于一设置有相对应的固定座的制程腔体。
2.如权利要求1所述的镀膜窗,其特征在于,该镀膜窗由金属所构成。
3.如权利要求2所述的镀膜窗,其特征在于,该镀膜窗由不锈钢所构成。
4.如权利要求1所述的镀膜窗,其特征在于,该镀膜窗上还包括有一层保护膜。
5.如权利要求3所述的镀膜窗,其特征在于,该保护膜为铬。
6.如权利要求1所述的镀膜窗,其特征在于,所述遮板具有一曲面。
7.如权利要求1所述的镀膜窗,其特征在于,该固定元件为一矩形凸出部。
8.如权利要求7所述的镀膜窗,其特征在于,该矩形凸出部上开设有一凹槽。
9.如权利要求1所述的镀膜窗,其特征在于,该至少一锁固元件包含螺丝及螺帽。
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