[实用新型]一种自动上料设备的校正条

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于硅片PECVD工艺自动上料设备的校正条。

背景技术

在硅片的PECVD工艺中，自动上料设备在全面提速的情况下，如图1所示，由于花篮1在突然停止时的惯性太大，会导致花篮1上的硅片2排列参差不齐，在上料舌头将硅片2送至上料运输皮带上时会出现定位不准，最终会导致大量碎片且严重影响生产。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种使得花篮在突然停止时让硅片排列整齐的设备。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种自动上料设备的校正条，其特征在于：包括橡皮条，橡皮条竖直设于上料舌头的前端，在橡皮条朝向上料舌头的一侧上设有刚性支架。

进一步，所述刚性支架由不锈钢制得。

所述刚性支架呈L形，刚性支架与橡皮条垂直的部分形成有至少一个折弯。

所述橡皮条的厚度为1-3mm，所述刚性支架的厚度为0.1-0.3mm。

本实用新型提供了由一个不锈钢金属支架加一个橡胶档条组成的校正条，利用金属和橡胶在受力变形的状态下，当力撤除后可以自动恢复的弹性形变现象，使得花篮上的硅片能够自动排列整齐。

附图说明

图1为硅片在花篮上排列不齐示意图；

图2为本实用新型提供的一种自动上料设备的校正条应用示意图。

具体实施方式

实施例

如图2所示，为本实用新型提供的一种自动上料设备的校正条，包括橡皮条3，橡皮条3竖直设于上料舌头4的前端，在橡皮条3朝向上料舌头4的一侧上设有刚性支架5。刚性支架5由不锈钢制得，呈L形，刚性支架5与橡皮条3垂直的部分形成有一个折弯6。橡皮条3的厚度为2mm，刚性支架5的厚度为0.2mm。

有了本实用新型提供的校正条，就不用担心硅片2会因为花篮1在突然停止时的惯性太大而导致前平面不整齐，恰恰相反正好利用了惯性使硅片2的前平面调整齐。刚性支架5和橡皮条3都有弹性形变，保护了硅片2不会因为突然受力而破碎。在上料舌头4上料时，保证硅片2在上料运输皮带上的准确定位，从而保证了上料的整体效果。