[实用新型]多晶硅还原炉有效
申请号: | 201120048775.8 | 申请日: | 2011-02-28 |
公开(公告)号: | CN201962074U | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 赵振元;罗明树;刘胜春;王明云;江元升;蒋玉梅;王毅勃 | 申请(专利权)人: | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 成都中亚专利代理有限公司 51126 | 代理人: | 陈亚石 |
地址: | 610051 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 还原 | ||
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产中的配套设备,具体涉及一种多晶硅还原炉。
背景技术
现有的多晶硅还原炉(即将四氯化硅转为三氯氢硅转化炉)多采用单喷头加料方式(将氢气四氯化硅以一定比例混合后由一根喷头进入氢化炉),这种单喷头加料方式往往会造成进料扩散面积小,喷料不均匀,而且还与碳棒接触时间短,使得加热碳棒加热不均匀不充分,从而导致收率较低。
实用新型内容
鉴于上述不足之处,本实用新型的目的在于提供一种结构简单,能产生湍流,使得喷料均匀扩散能使加热碳棒加热均匀而充分,且氢化转化率大大提高收率也大大提高的多晶硅还原炉。
为了达到上述目的,本实用新型采取了以下技术方案:一种多晶硅还原炉,包括有炉罩、底盘、加热碳棒、进料管和出料管,所述炉罩安装在底盘上,底盘上安装有至少三组的加热碳棒,所述炉罩内还设有与进料管相连通的喷头,且喷头至少为三个呈并列分布在进料管上,所述出料管安装在底盘上,所述喷头末端安装有叶片式湍流发生器。所述叶片式湍流发生器由壳体、内芯和叶片组成,所述内芯设置在壳体轴心部,所述叶片宽端连接在壳体内周面上,窄端连接在内芯外周面上,且均匀排列于壳体内周面和内芯外周面,所述的叶片与水平面夹角呈30度。
本实用新型的有益效果在于:本实用新型采用多喷头并组合叶片式湍流发生器的结构,使其能产生湍流的进料方式,使得进料充分扩散,再配合多组加热碳棒,使得进料与碳棒接触时间长、加热均匀而充分,大大提高氢化转化率。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图。
图2是叶片式湍流发生器结构示意图。
图3是图2的主视剖面结构示意图。
图4是图2的内部结构示意图。
图5是图2 的叶片结构示意图。
图中:1.炉罩; 2.底盘; 3.加热碳棒; 4.进料管; 5.出料管; 6.喷头; 7.叶片式湍流发生器; 8.壳体; 9.内芯; 10.叶片。
具体实施方式
下面我们将结合附图对本实用新型做进一步的说明:
如图1所示,一种多晶硅还原炉,包括有炉罩1、底盘2、加热碳棒3、进料管4和出料管5,其中,炉罩1安装在底盘2上,底盘2上安装有至少三组的加热碳棒3,炉罩1内还设有进料管4相连通的喷头6,且喷头6至少为三个呈并列分布在进料管4上,喷头末端安装有叶片式湍流发生器7,叶片式湍流发生器7由壳体8、内芯9和叶片10组成,内芯9设置在壳体8轴心部,叶片10宽端连接在壳体8内周面上,窄端连接在内芯9外周面上,且均匀排列于壳体8内周面和内芯9外周面,叶片10与水平面夹角呈30度。物料经叶片式湍流发生器7后形成湍流喷出,这样便能使进入炉内的进料能充分的扩散开来,从而与加热碳棒3有充分的接触面,使得加热更加均匀而充分。出料管5安装在底盘上。
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